Студопедия
Обратная связь


Авиадвигателестроения Административное право Административное право Беларусии Алгебра Архитектура Безопасность жизнедеятельности Введение в профессию «психолог» Введение в экономику культуры Высшая математика Геология Геоморфология Гидрология и гидрометрии Гидросистемы и гидромашины История Украины Культурология Культурология Логика Маркетинг Машиностроение Медицинская психология Менеджмент Металлы и сварка Методы и средства измерений электрических величин Мировая экономика Начертательная геометрия Основы экономической теории Охрана труда Пожарная тактика Процессы и структуры мышления Профессиональная психология Психология Психология менеджмента Современные фундаментальные и прикладные исследования в приборостроении Социальная психология Социально-философская проблематика Социология Статистика Теоретические основы информатики Теория автоматического регулирования Теория вероятности Транспортное право Туроператор Уголовное право Уголовный процесс Управление современным производством Физика Физические явления Философия Холодильные установки Экология Экономика История экономики Основы экономики Экономика предприятия Экономическая история Экономическая теория Экономический анализ Развитие экономики ЕС Чрезвычайные ситуации ВКонтакте Одноклассники Мой Мир Фейсбук LiveJournal Instagram


Примеры устройств на основе МЭМС прмышленного исполнения

<== предыдущая статья |

 

Рисунок А.1 – Гироскоп, акселерометр

Рисунок Б.1 – Преобразователь абсолютного давления

 

Таблица Б.1 Технические характеристики преобразователя абсолютного давления

Диапазон измеряемых давлений, МПа 0,1

Напряжение питания, В

5 ± 0,1

Номинальный выходной сигнал, мВ

40…130

Нелинейность выходного сигнала, %

<0,2

Начальный разбаланс моста, мВ

<±3 Диапазон рабочих температур, °С

–50…+100

Температурный коэффициент чувствительности, %/10°С

меньше 0,15

Температурный дрейф «нуля», %/10°С

меньше 0,2

Габариты, мм 20 x 5 x 5

 

Рисунок Б.2 – Пьезорезистивная инерциальная
микросистема для измерения малых ускорений

Таблица Б.2 Технические характеристики пьезорезистивной инерциальной микросистемы для измерения малых ускорений

Диапазон измерения ускорений, g

2-10

Размеры кристалла микросистемы, мм

8,0x2,5x0,44

Вес кремниевой инерционной массы, мг

2

Характерные размеры кремниевых балок, мкм

600x20x10

Чувствительность при напряжении питания 9 В, мВ/g

1,9

Резонансная частота микросистемы, Гц

1200

Рабочий диапазон частот, Гц

от 0 до 400

 

 

 

 

Рисунок Б.3 – Термоанемометрическая микросистема для контроля состояния газовой среды (стрелка слева указывает на технологическую воздушная полость, а стрелка справа – на чувствительные резистивные элементы на тонких вывешенных диэлектрических перемычках, толщиной около 1 мкм).

Таблица Б.3 Технические характеристики термоанемометрической микросистемы для контроля состояния газовой среды

Напряжение питания

5 В, 9В

Выходной сигнал

0 - 100 мВ

Время срабатывания

не более 1 с

Диапазон исследуемых расходов

от 0,001 до 60 л/мин

Потребляемая мощность

не более 30 кВт при питании 5 В

Относительная чувствительность

не менее 6 мВ*мВт-1(л/мин)-1

Вес

< 2 г

Габаритные размеры

35 х 15 х 10 мм

 

<== предыдущая статья |





 

Читайте также:

Емкостной иммуносенсор

Электронный парамагнитный резонанс (ЭПР)

Углеродные нанотрубки

Кондуктометрические датчики

MEMS-дисплеи

Латеральное торможение

Пробой Зинера. Автоэлектронная эмиссия

Глава 11. Макроскопические квантовые эффекты в твердых телах

Глава 5. Эффекты взаимодействия электромагнитного поля с веществом

Сравнительный анализ аналитических возможностей различных типов иммуносенсоров

Физические основы электронной микроскопии Электронный микроскоп

Магнитооптические явления

Принципы действия ССМ-77

Вернуться в оглавление: Физические явления

Просмотров: 1185

 
 

© studopedia.ru Не является автором материалов, которые размещены. Но предоставляет возможность бесплатного использования. Есть нарушение авторского права? Напишите нам. Ваш ip: 54.144.39.205