На подвижность носителей заряда в основном влияют два физических фактора; хаотические тепловые колебания атомов кристаллической решетки (рассеяние носителей заряда на тепловых колебаниях атомов кристаллической решетки) и электрические поля ионизированных примесей (рассеяние на ионах примесей). При больших температурах преобладает рассеяние носителей заряда на тепловых колебаниях атомов кристаллической решетки. Поэтому с увеличением температуры в этом диапазоне температур подвижность носителей уменьшается (рисунок 2).
Рисунок 2. Температурные зависимости подвижности носителей заряда при различных концентрациях примесей
В диапазоне малых температур с уменьшением температуры уменьшаются тепловые скорости хаотического движения носителей заряда, что приводит к увеличению времени пребывания носителя вблизи иона примеси, т. е. увеличивается длительность воздействия электрического поля иона примеси на носитель заряда. Поэтому в диапазоне малых температур с уменьшением температуры подвижность носителей также уменьшается (рисунок 2).
При увеличении концентрации примесей увеличивается и рассеяние на ионах примесей, т. е. уменьшается подвижность носителей заряда. Однако в диапазоне высоких температур преобладающим механизмом рассеяния носителей даже при большой концентрации примесей остается рассеяние на тепловых колебаниях атомов кристаллической решетки и соответственно кривые температурной зависимости подвижности носителей заряда в диапазоне высоких температур практически не смещаются с увеличением концентрации примесей.
Удельная проводимость пропорциональна концентрации носителей заряда и их подвижности. Поэтому, зная влияние температуры на концентрацию и подвижность носителей заряда, можно представить и общий ход кривой, отражающей зависимость удельной проводимости от температуры (рисунок 3).
Рисунок 3. Температурные зависимости удельной проводимости полупроводника при различных концентрациях примесей
Концентрация носителей заряда в полупроводниках очень сильно зависит от температуры, а на подвижность изменение температуры влияет сравнительно слабо — по степенному закону (исключение составляют оксидные полупроводники на основе оксидов металлов с переменной валентностью). Поэтому температурная зависимость удельной проводимости похожа на температурную зависимость концентрации носителей при очень малых и при больших температурах. В диапазоне температур, соответствующих истощению примесей, когда концентрация основных носителей заряда остается практически неизменной, температурные изменения удельной проводимости обусловлены температурной зависимостью подвижности.