Установлено, что для каждого газа имеется такое давление pmax, при котором скорость травления материала максимальна и не зависит от его природы.
Допуская энергетическое распределение электронов близким к максвелловскому и учитывая, что число возбуждений в плазме пропорционально числу быстрых электронов ne ', можно описать приведенную зависимость уравнением:
Снижение скорости травления на этом участке графика объясняется уменьшением общей концентрации молекул и электронов с понижением давления. При дальнейшем повышении давления за пределы Рmах скорость травления падает, так как → 0, что обусловлено снижением электронной температуры.
Электронная температура снижается с ростом р, так как уменьшается средняя длина свободного пробега электронов λе. В результате электроны при многократных столкновениях не успевают накопить большую энергию и средняя электронная энергия падает с повышением давления.