Сущность данного способа заключается в следующей химической реакции:
n
МеCln + --- H2 ↔ Me + n HCl,
2
n
МеFn + --- H2 ↔ Me + n HF.
2
Эти реакции происходят при пониженном атмосферном давлении ≈ 1000 Па.
Этим методом получают покрытия из Мо, W, Al.