Устройство и принцип измерения на МИС-11

Двойной микроскоп Линника МИС-11 (рисунок 5) используются для измерения шероховатости поверхности 3…9 классов по R_z, R_max, S в лабораторных условиях.

Рисунок 5 - Двойной микроскоп Линника МИС-11 (общий вид)

Он представляет собой систему из двух микроскопов - осветительного и наблюдения, оси которых составляют между собой угол 90°. Измерение основано на принципе светового сечения (рисунок 6.), заключающемся в том, что пучок лучей направляется в виде световой полосы под углом через узкую щель 2 и объектив 3, на поверхность контролируемой детали 4.

1 – источник света; 2 – щель; 3 – объектив;

4 – изделие; 5 – объектив; 6 – сетка окуляра;

Рисунок 6 - Оптическая схема микроскопа

Так как на проверяемой поверхности имеются неровности, то линия пересечения световой полосы и поверхности являются кривой, копирующей неровности в данном сечении. Объективом 5 микроскопа наблюдения они проектируются в фокальную плоскость окуляра 6.

Применение четырех смешанных объективов позволяет производить увеличение от 5,9 до 34,5. Погрешность измерения при этом составляет 7,5…24%.