Весенняя экзаменационная сессия

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 1

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Особенности и возможности метода ионной имплантации как метода легирования материалов.

2. Формирование структур кремний на изоляторе методом высокодозной имплантации кислорода и азота.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 2

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Техника ионно-лучевого легирования материалов.

2. Типы ионноимплантационных дефектов. Термостабильность дефектов.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 3

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Классическое движение иона в центральном рассеивающем поле. Расчет угла рассеяния и переданной атому мишени энергии.

2. Механизмы диффузионного перераспределения имплантированной примеси при термообработках. Особенности диффузии легированных примесей в кремнии при термообработке в окисляющей среде.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 4

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Потенциалы ион-атомного взаимодействия.

2. Особенности распределения примесей и радиационных дефектов при высокоэнергетической ионной имплантации.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 5

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Диффузионное перераспределение примесей при термообработках в инертной и окисляющих средах.

2. Создание межприборной изоляции на А³В⁵-полупроводниках.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Экзаменационный билет № 6

Дисциплина«Физические основы ионно-фотонной обработки материалов»

Весенняя экзаменационная сессия

1. Сечение неупругого (электронного) торможения ионов в твердых телах.

2. Равновесные термообработки имплантированных кристаллов. Диффузионное перераспределение примеси при термообработках в инертной и окисляющей среде.

Зам. заведующего кафедрой Преподаватель

Дата утверждения 21.05.2015