Спектры пропускания, отражения

На спектрофотометре СФ-56 в диапазоне 200-1100 нм были получены спектральные характеристики подложек, плёнок SnO₂ и MoO₃ на стекле, кварце, и структуры MoO₃ – SnO₂ – стекло. На дифрактометре ДРОН – 6 на тех же образцах получены дифрактограммы. По результатам рентгеноструктурного анализа, напыленные пленки являются аморфными и соответствуют MoO₃.

Рисунок 1. Спектральная зависимость коэффициента пропускания образца оксида молибдена и подложки

Рисунок 2. Спектральная зависимость коэффициента отражения, образца оксида молибдена.

Полученные спектры коэффициента пропускания позволяют определить дисперсию показателя преломления n и толщину образцов, при помощи итерационного метода предложенного Шаповаловым []. На рис.3 представлен участок спектральной зависимости коэффициента пропускания, с выделенными огибающими интерференционных максимумов и минимумов. По приведённой зависимости рассчитана дисперсия показателя преломления образца (рис.4). Полученный результат достаточно хорошо согласовывается с данными, приводимыми в литературе [].

Рисунок 3. Участок спектра коэффициента пропускания образца МоО₃, с выделенными огибающими интерференционные максимумы и минемумы.

Рисунок 4. Спектр показателя преломления аморфного МоО₃, вычисленный итерационным методом.

С помощью итерационного метода, вычислены толщины плёнок оксида молибдена исследуемых образцов. Плёнки имеют толщину от 190 до 860 нм.