Установка Вакуумная модели ву-1б

Изделие предназначено для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий способом конденсации вещества в вакууме с ионной бомбардировкой электропроводного тугоплавкого материала титана, а также его соединений с газами (нитриды, карбиды).        Предусмотрена возможность нанесения покрытий из других тугоплавких электропроводящих мате­риалов, в том числе молибдена, циркония иодитного и их соединений (нитриды, карбиды).   ТЕХНИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА

       Время достижения предельного давления 2×10^-3 Па при разогретом диффузионном насосе и при охлажении водяной ловушки, с поворотным устройством, без загрузки инструментом, не более 15 мин.

       В качестве источника питания дуги используется сварочный выпрямитель типа ВД - 306УЗ. Ток дуги в зависимости от испаряемого материала от 80 до 180 А.

Параметры источника питания подложки

1. Напряжение высоковольтного источника в рабочем режиме 0,9кВ;

2. Диапазон плавного регулирования опорного напряжения низковольтного источника от 20 ± 5% до 150 ± 5% В;

3. Максимально допустимый ток 5 А;

4. Частота вращения шпинделей поворотного устройства 15 ± 20 % об/мин;

5. Система напуска реактивного газа обеспечивает напуск газа в камеру до давления 4,0×10^-1 Па;

6. Мощность, потребляемая установкой 20 кВт;

7. Натекание в рабочую камеру с поворотным устройством при закрытом затворе диффузионного насоса без загрузки инструментом 2,0×10^-4 Па м³/с;

8. Диаметр рабочей камеры 600 мм;

9. Высота рабочей камеры 540мм;

10. Высота установки 1960 мм;

11. Общая площадь, занимаемая установкой, 10 м²;

12. Масса установки 1500 кг.