Планетарное вращение деталей. Назначение: очистка поверхности и нанесение защитно-декоративных покрытий (бронзы, латуни) на детали товаров народного потребления сложной объемной конфигурации в едином вакуумном цикле. Тип источников: Маг - 50 и протяженный щелевой источник ионов. Технические характеристики Основные параметры источников: а) МАГ-50 1. Потенциал на мишени 0,4 - 0,8 кВ; 2. Ток ионов на мишень 30 А; б) Протяженный щелевой источник ионов 1. Средняя энергия ионов 0,5 кэВ; 2. Ток ионного пучка 1 А. |
Основные параметры установки:
1. Режим работы - ручной, автоматический блок откачки;
2. Размер деталей: диаметр от 16 до 196, высота от 16 до 64 мм;
3. Количество одновременно загружаемых деталей 90 шт.;
4. Производительность 70 шт/ч;
5. Неравномерность нанесения ± 5 %;
6. Средство откачки - диффузионный насос;
7. Рабочее давление 0,2 - 0,5 Па;
8. Предельное остаточное давление 6×10-4 Па;
9. Потребляемая мощность 18 кВА;
10. Габаритные размеры 4000 х 1000 х 2000 мм;
|
|
11. Масса 2500 кг.
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНАЯ АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ
УСТАНОВКА МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛОВ
Вертикальное перемещение универсаль-ных кассет. Назначение: двухстороннее двухслойное нанесение металлов на подложки. Тип источника: четыре магнетрона МСИР. Технические характеристики. Основные параметры источника: 1. Потенциал на мишени 0,2 - 0,8 кВ; 2. Ток ионов на мишень 120 А; 3. Размеры мишени 1290 х 136 х 15 мм; |
Основные параметры установки:
1. Режим работы - автоматический от микро-ЭВМ "Орион-3";
2.Размер кассет 1250 х 1250 мм;
3. Производительность 20 м2/час;
4. Неравномерность нанесения ± 7 %;
5. Средства откачки турбомолекулярный насос;
6. Предельное остаточное давление 5,4×104 Па;
7. Потребляемая мощность 200 кВА;
8. Габаритные размеры 8000 х 3000 х 2500 мм;
9. Масса 20000 кг.