Потенциалом инверсии на поверхности полупроводника φi называется поверхностный потенциал, соответствующий переходу в режим сильной инверсии. Для р – канального транзистора приповерхностная концентрация дырок становится равной равновесной концентрации электронов в глубине полупроводника или,что то же самое, концентрации доноров в подложке, для n -канального - концентрация электронов на поверхности равна концентрации акцепторов в глубине подложки.
где NA – концентрация акцепторов в подложке, ni – собственная концентрация электронов в кремнии. для p –канала определяется аналогично через в подложке, но имеет отрицательный знак.
От чего зависит пороговое напряжение МОП транзистора?
Пороговое напряжение Un – напряжение на затворе, при котором происходит инверсия поздатворной проводимости и появляется ток стока.
Пороговое напряжение состоит из трех составляющих: напряжения плоских зон ,
|
|
потенциала инверсии и напряжения, создаваемого зарядом подложки , .