Мягкая литография

           В мягкой литографии мягкий штамп (пресс-форма) используется для нанесения фигурного слоя на поверхность твердой подложки. Как показано на рисунке 2, оригинал сначала изготавливается на покрытом фоторезистом подложке стандартной фотолитографией. Затем получают полимерный штамп путем заливки оригинала дегазированным полимером.

           Материала штампа это эластичнее полимеры, наиболее распространено использование поли (диметилсилоксана)(PDMS) эластомера на основе кремния. Полимерный штамп затвердевает, а затем отделяется от оригинала. Как только штамп изготовлен, его поверхность покрывают печатной краской при контакте с раствором тиоалкана в этаноле.

 Тиоалкан диффундирует в штамп, и, когда он наносится на золотую поверхность подложки, тиоловый самоорганизующийся монослой (self-assembled monolayer - SAM)формируется только в областях прямого контакта. Количество тиола, поглощенного штампом, является достаточным для нескольких отпечатков. Этот метод вызывается микроконтактной печатью.

Рис. 2. Мягкая фотолитография: изготовление штампа и микроконтактная печать

           Самоорганизация тиоловых производных придает поверхности различные свойства в зависимости от конечной группы тиола. Таким образом, простой тиоалкан делает поверхность гидрофобной и химически инертной. Гидрофильные группы в конце тиола придают гидрофильность, а реакционноспособные концевые группы обеспечивают сшивание соединений, представляющих интерес анализа. Итак, либо адсорбционная, либо ковалентная иммобилизация может быть выполнена на SAM, образованном микроконтактной печатью.

           Более прочные отпечатки могут быть получены с использованием штампч PDMS в качестве оригинала, чтобы сформировать более прочный плимерный штампа основе олигомеров или форполимеров, которые не проникают в PDMS. Эта технология, которая упоминается как репликационное формирование, может производить многочисленные формовочные копии, используя недорогие материалы, которые подходят для массового производства [3].