Рентгенолитография
Метод основан на взаимодействии характеристического рентгеновского излучения (l = 0,1¸10нм) с рентгенорезистом, приводящим к изменению их свойств - увеличение или уменьшение стойкости к проявителям.
Проекционный метод (1:1): шаблон состоит из кремниевой подложки, тонкой мембраны из, пропускающей рентгеновское излучения и слоя материала (хром, золото) хорошо поглощающего рентгеновское излучение. Зазор между шаблоном и пластиной составляет порядка 3¸10 мкм, время экспонирования – 1 сек ¸ 20 мин.
Достоинства - высокая разрешающая способность, отсутствие влияния загрязнений, большой срок службы шаблона, относительная простота оборудования.
Основана на использовании ионов гелия для экспонирования поверхности пластин, покрытых резистом.
Существуют:
сканирующая ИЛЛ (разрешающая способность – 0,3¸0,03мкм);
проекционная ИЛЛ с (разрешающая способность – 0,5мкм);
Для формирования рисунка топологии ИС возможно воздействие на пленку электронного, ионного и лазерного пучка с высокой плотностью энергии, достаточной для термического испарения материала.Для этого необходимы плотность мощности больше >106 Вт/см2 и время @ 1мкс. Применение ограничено возможным возникновением дефектов из-за механического напряжения и ударных волн.
|
|
Для сравнения эффективности методов литографии используются обобщенные оценки. В качестве критерия выбран показатель качества, определяемый как:
Производительность
(1+0,15´плотность дефектов) ´ стоимость оборудования ´ (ширина линий)
Сравнение эффективности методов литографии приведено в таблице 1.
Таблица 1
Метод литографии | Мин. ширина линии, мкм | Плот-ность дефектов на 1 см | Производитель-ность, пластин/ч | Стоимость оборудования, отн. ед. | Эффектив- ность ´ 10 |
Контактная фотолитография | 2,5 | ||||
Проекционная фотолитография | |||||
Проекционная фотолитография с применением коротковолнового УФ-излучения | |||||
Проекционная фотолитография с использованием повторителей | |||||
Электронолитография | 0,5 | 0,5 | |||
Рентгенолитография | 0,3 | ||||
Ионно-лучевая литография | 0,5 | - | - | - |