2014-02-09
353
|
| Рис. 10.10. Размер скрытого слоя |
Необходимо учесть размер активной базы, глубокого коллектора и расстояние между ними.
Минимальный размер:
Номинальный размер:
Размер на фотошаблоне:
Здесь 
=1,5 мкм – глубина скрытого коллектора.
Если структура изолирована диэлектрическими областями (щелевая или изопланарная изоляция) (рис. 10.11)
При щелевой изоляции скрытый слой обычно делают сплошным, а затем «разрезают» канавками.
Ширину скрытого слоя найдём следующим образом:
Номинальный размер:
Здесь =1,5 мкм – глубина скрытого коллектора.
Размер на фотошаблоне:
