Классификация газовых систем и требования к ним.
Газовая система установки п/п выполняет следующие функции: очистку, смешение, распределение, транспортирование, измерение и регулирование параметров газов и парогазовой смеси, а также утилизацию и нейтрализацию выводимых из реактора продуктов реакции. Для осуществления перечисленных функций газовые системы должны иметь соответствующее оборудование. Оборудование газовых систем при очистке газов: фильтры механические и электростатические, фильтры сорбционные, установки для сорбционной осушки, установки для диффузионной очистки и осушки.
Приготовление парогазовой смеси
Дозаторы барботажные, дозаторы поверхностного испарения, дозаторы диффузионные, дозаторы котельные, смесители, устройства введения ПГС
Распределение и регулирование параметров газов.
Регуляторы давления. Стабилизаторы давления. Стабилизаторы расходов. Запорные краны и вентили. Регулирующие вентили, натекатели, электромагнитные клапаны.
|
|
Измерение параметров газов.
Манометры механические и жидкостные. Ротамеры. Счётчики расхода. Расходомеры метрические и анемо метрические. Газоанализаторы. Измерители концентраций.
Автоматизация газораспределения и управление параметрами газов.
Программаторы командно временные. Программаторы расходов, концентраций, температур. Преобразователи расходов, давлений, температур, мощности.
Утилизация и нейтрализация вторичных газов.
Регенераторы. Гидрозатворы и свечи. Скрубберы.
По признакам;
1) по технологическому назначению
для эпитаксиальных, окислительных, диффузионных и других процессов
2) по агрегатному состоянию реагентов
с твёрдыми, жидкими или газообразными реагентами
3) по степени автоматизации
с ручным управлением, с автоматизированным в том числе программным управлением.
Технологические требования к газовым системам:
1) Герметичность
2) Всесторонний доступ к аппаратуре, трубопроводам и разъемам.
3) не вносить загрязнений и примесей
4) не должно быть непродуваемых участков застойных зон
5) точность измерения и регулирования расходов газа
6) минимальное гидравлическое сопротивление, достаточные пропускные способности
7) безопасность