Принцип действия датчиков основан на явлении сорбции влаги из анализируемой среды. Содержание влаги оценивается по изменению физико-химических или электрофизических параметров чувствительного элемента датчика. В зависимости от механизма сорбции различают адсорбционные, абсорбционные и хемосорбционные датчики влажности.
В адсорбционных датчиках сорбция паров воды происходит на поверхности непористого сорбента или на поверхности пор пористого. В абсорбционных датчиках влага поглощается всем объемом сорбента. В хемосорбционных датчиках сорбированная вода вступает в химическую реакцию с материалом сорбента.
В датчиках адсорбционного и абсорбционного типа поглощение влаги сорбентом сопровождается изменением его массы и электрофизических свойств: электропроводности, диэлектрической проницаемости и др. В соответствии с этим различают датчики гравитационного типа (например, пьезосорбционные, основанные на изменении массы сорбента) и импедансные, действие которых основано на измерении сопротивления или емкости пленки сорбента при поглощении влаги.