Современный просвечивающий электронный микроскоп представляет собой довольно сложную в технологическом и эксплуатационном отношениях установку, использование которой без наличия специальных знаний и навыков в соответствующей области может привести к критическим нарушениям работы этого оборудования. Кроме того, без понимания основных принципов функционирования микроскопа невозможно корректно интерпретировать и анализировать результаты, полученные благодаря его работе.
электронная пушка |
камера фоторегистрации |
камера наблюдения |
оптическая колонная |
гониометрическая система |
энергодисперсионный детектор |
высоковольтный кабель |
Рис. 1.1. Внешний вид просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) (модель JEM-2100F). [1]
Рис. 1.2. Вид колонны просвечивающего электронного микроскопа (JEM-2100F) в разрезе. [1]
В качестве источника электронов выступает электронная пушка. Она установлена в верхней части колонны просвечивающего электронного микроскопа. Внутри самой колонны путем откачки воздуха поддерживается высокий вакуум. Испускаемые пушкой электроны ускоряются в трубке ускорителя, проходят через линзы осветителя, после чего попадают на образец. После прохождения электронов через структуру объекта исследований в объективной линзе формируется изображение. Затем система промежуточных и проекционных линз производят его увеличение.
Получившееся в итоге изображение, проецируется на флуоресцентный экран, где его можно наблюдать через окошко камеры наблюдения. При необходимости оно может быть записано на фотопленку в фоторегистрирующей камере. Следуя за ходом электронного пучка в электронно-оптической колонне просвечивающий электронный микроскоп можно разделить на следующие основные составные части:
1. Электронная пушка (источник электронов).
2. Генератор высокого напряжения и ускорительная трубка.
3. Система осветителя и дефлектор.
4. Держатель образца.
5. Система линз.
6. Камера наблюдения и камера фоторегистрации.