Утончение и полировка сращенных пластин

В обработке сращенных пластин наиболее важным параметром является параметр плоскостности пластин для производства сращенных пластин, используемых для производства сенсоров и в процессах производства КНИ структур и СБИС. Изучение показало, что плоскостность исходных пластин определяет требования к однородности толщин сращиваемых пластин. Еще раз напомним о различии между пластинами в связываемой паре: одна называется опорной пластиной, другая - рабочей пластиной. Рабочая та, которая будет утоняться. Ее механические свойства, прежде всего плоскостность, сильно зависят от параметров опорной пластины. Подчеркивается, что для достижения однородности толщины рабочей пластины механическим и химическим утончением нужна обязательно хорошая плоскопараллельность опорной пластины и малое значение разнотолщинности. Допустимое изменение толщины кремния для рабочей и опорной пластины должно составлять величину менее 2 мкм. В конце обработки рабочей пластины может быть достигнута высокая степень однородности по толщине только в случае высокой однородности толщины опорной пластины. Утоненная рабочая пластина далее подвергается операциям полировки, подробно описанным в [5].