2015-04-23
375
ЧПП Должно:
1) Быть герметична
2) Обеспечивать непрерывную подачу воздуха в помещение
3) Не создавать условия для накопления грязи
4) Быть удобным для уборки и удаления загрязнений
5) Обеспечивать, при необходимости, возможность проведения мытья, уборки и дезинфекции помещения.
6) Обладать достаточной прочностью по отношению к изменению давления в помещении
7) Обладать теплоизолирующими свойствами дял поддержания определенной температуры и влажности
8) Обладать достаточной гибкостью при изменении планировки и размещении оборудования
9) Иметь возможность осуществлять достройку и внесение конструкционных изменений
10) Быть удобным в эксплуатации и уходе
Требования по материалам ЧПП:
1) Они не должны создавать загрязнений
2) Должны быть стойкими к воздействию химическими реактивами
3) Долговечны
4) Устойчивы к термодинамическим и вибрационным перегрузкам
5) Пыль должна легко удаляться с поверхности материала и не прилипать к ней
6) На материалах не должна образовываться плесень
|
|
|
7) Не должны выделять токсичные вещества
8) Не должны иметь запаха
9) Должны быть влагостойкими
10) Не должны создавать статическое электричество
Источник загрязнения:
1. Воздух (5 – 10%)
2. Газы и жидкости (5 – 10%)
3. Персонал (30 – 40%)
4. Технологический процесс (20 – 30%)
5. Оборудование (20 – 30%)
Классификация частиц, прилипающих к кремниевым пластинам:
| Классификация частиц | Число частиц 1 мкм диаметром | % |
| Частицы, выделяемые персоналом | 46% | |
| Обрывки нити | 8% | |
| Протирочный материал | 4% | |
| Оставшиеся частицы от фоторезистов | 12% | |
| Кремний и кварц | 22% | |
| Прочие | 8% |
