Определение скоростей травления кремния и диоксида кремния

Перед травлением часть поверхности подложки из кремния мас­кируется с помощью алюминиевой пленки. Толщина стравленного слоя кремния определяется по высоте образовавшейся ступеньки на подложке в результате травления. Определение высоты ступеньки производится на микроинтерферометре МИИ-11. Толщина стравлен­ного слоя определяется по изменению интерференционной окраски поверхности пленки (оттенки Ньютона).

Скорость травления определяется по формуле:

Где

h- толщина стравленного слоя;

- время процесса.

Селективность травления кремния относительно диоксида крем­ния характеризуется коэффициентом селективности.