Пленочные элементы

Примеры пленочных элементов приведены на рис. 4.32.

Рис. 4.32. Пленочные элементы: а, б, в – резисторы; г, д – конденсаторы; е – индуктивность

Пленочные резисторы состоят из частично перекрываемых участков двух пленок: резистивной и проводящей (коммутационной). Резисторы, изображенные на рис 4.32, а и 4.32, б получают по тонкопленочной, а на рис.4.32, в – по толстопленочной технологии. Известно, что сопротивление обычного (объемного) резистора определяется как R = l/S (где - объемное сопротивление материала, l – длина, а S – площадь поперечного сечения). При расчете пленочных резисторов вместо используют величину = / h, представляющую собой удельное поверхностное сопротивление (сопротивление квадрата пленки толщиной h). В этом случае сопротивление пленочного резистора определится как R = l/b (где b – ширина резистора, определяемая по резистивной пленке, а l – его длина, определяемая по проводящей пленке).Для каждой марки материала, предназначенного для получения пленочных резисторов, существует рекомендуемый диапазон значений .

Пленочные конденсаторы обычно выполняют по двум вариантам: в несколько слоев (рис. 4.32, г.) и в один слой (рис. 4.32, д). В первом случае нижний и верхний слой выполняют из проводящего материала, а промежуточный – из диэлектрика. Гребенчатые конденсаторы (рис.4.32, д) обычно используются в высокочастотных схемах. Роль обкладок в них выполняют пленочные проводники в форме гребенки.

Пленочные индуктивности (рис. 4.32, е) представляют собой плоские спирали из проводящего материала.

Пленочные элементы занимают довольно много места на подложке и имеют сравнительно узкий диапазон номиналов (особенно это касается индуктивностей и конденсаторов). Кроме того, тонкопленочные трехслойные конденсаторы не всегда оказываются достаточно надежными (из-за проколов диэлектрика и его (помечено кружком) утонения). Поэтому конденсаторы и индуктивности в ГИС и МСБ чаще применяются в виде навесных компонентов.

Из пленочных элементов наибольшее распространение в ГИС и МСБ получили тонкопленочные резисторы, благодаря высокой точности (отклонение от номинала после подгонки до 0,01%) и стабильности, минимуму шумов, относительно широкому диапазону удельных характеристик и т.д. Тонкопленочные резисторы, выполненные на отдельной миниатюрной подложке (часто в виде резистивных матриц), применяются также в толстопленочных МСБ в качестве навесных компонентов.