2015-01-07
1351
Запорно-регулирующая аппаратура представляет собой комплекс функциональных средств вакуумных систем, предназначенных для перекрытия газовых потоков, создания дозированных потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при разгерметизации, коммутации системы многопозиционной последовательной откачки и т.д.
Классификация различных вакуумных затворов приведена на рис. 13.1.
Клапан – устройство, позволяющее регулировать или полностью прекращать поток газа в вакуумной системе.
 |
Затвор - вакуумный клапан, позволяющий соединять или разобщать элементы вакуумной системы.
Для перекрытия газовых потоков используют вакуумные клапаны и затворы, классифицированные по ряду признаков конструкционного и эксплуатационного характера.
Основными эксплуатационными характеристиками клапанов и затворов являются:
─ степень герметичности, определяемая потоком натекания газа через уп-
лотнительную пару, которая в зависимости от эксплуатационных требований лежит в пределах 10-7… 10-11 Па·м3/с;
|
|
|
─ проводимость в открытом положении, определяемая отношением потока га- за Q, проходящего через полость вакуумного клапана, к разности давле- ний (p1 – р2) на его входном и выходном отверстиях;
─ быстродействие, определяемое временем герметичного перекрытия;
─ ресурс работы, определяемый числом циклов перекрытия уплотнитель-
ной пары с обеспечением заданной степени герметичности;
─ минимальный поток газовыделения;
─ автоматизация.
Натекатель – вакуумный клапан, позволяющий регулировать и устанавливать малые потоки газа (например, при работе с газоанализаторами).
В качестве натекателей могут применяться пористые материалы, некоторые металлы, проницаемые для отдельных газов, например платина для водорода, серебро для кислорода и т.д.
Шибер – прямоугольная или фигурная пластина, используемая в качестве заслонки.
Напускной клапан – вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему до атмосферного или любого заданного давления.
