2015-09-06
443
Мас-спектрометр вторинних іонів забезпечує:
– контроль хімічного та елементного складу поверхні металів, напівпровідників, тонких плівок, покриттів, композиційних матеріалів;
– пошаровий аналіз;
– дослідження процесів корозії, поверхні та об’ємної дифузії.
Безсумнівною перевагою цього методу порівняно із іншими спектральними методами є отримання прямої інформації про елементний склад зразків.
Серійні прилади, які випускає ВАТ “SELMI” (м. Суми), мають дві модифікації (таблиця 7.1).
Таблиця 7.1 – Основні параметри мас-спектрометрів вторинних іонів
| №/№ | Параметри | МС-7201 | МС-7201М |
| Розрізнювальна здатність (ΔМ/М) Діапазон масових чисел Чутливість, А Струм пучка первинних іонів, мкА | 2,1 М 1 – 200 10-12 | 3,0 М 1–250 2·10-12 |
Мас-спектрометр складається із таких основних вузлів: камери-шлюзу, іонної гармати, аналізатора, вторинної оптики, системи підсилення і реєстрування сигналів. На рис. 7.14 зображений зовнішній вигляд приладу МС-7201, а на рис. 7.15 – його схема, із якої можна зрозуміти принцип роботи приладу.
|
|
|
Первинний пучок іонів із Н 2, О 2 або Ar утворюється в джерелі з розрядом Пеннінга, формується електро-
Рисунок 7.14 – Зовнішній вигляд мас-спектрометра вторинних іонів МС-7201
статичною лінзою і потрапляє на поверхню зразка. З його поверхні вибиваються вторинні іони, фокусуються лінзою і направляються в мас-аналізатор. Розподілені за атомними числами (а.о.м.) 
іони надходять в іонно-електронний перетворювач, далі в перемножувач (ВЕП), підсилювач постійного струму і пристрій реєстрації.
| Рисунок 7.15 - Блок-схема мас-спектрометра вторинних іонів: 1 – ВЕП; 2 – відбивачі; 3 – іонно-електронний перетворювач; 4 – аналізатор; 5 – джерело первинних іонів; 6 – напуск газу; 7 – електростатична лінза для фокусування первинних іонів; 8 – об’єктивна лінза; 9 – зразки; 10 – поворотний пристрій предметного столика |
