2014-02-09
2180
В сорбционных вакуумных насосах газ обычно остаётся внутри насоса в связанном виде на сорбирующих поверхностях, формирующихся путем распыления геттера, обычно титана. Для увеличения скорости откачки водорода и предотвращения синтеза метана на поверхности пленки геттера обычно остаточный газ дополнительно ионизируют, ионы ускоряют в электрическом поле по направлению пленки геттера. В результате ионы остаточных газов «замуровываются» в непрерывно обновляемой пленке геттера. Схема такого насоса, называемого гетеро-ионным, показана на Рис. 5.
Рис. 5. Схема гетеро-ионного насоса: 1 — центральный анод; 2 — прогреваемый анод; 3 — катоды; 4 — прямонакальные испарители.
В насосах типа «Орбитрон» электрическое поле несимметрично относительно корпуса насоса и катода, и эмиттируемые катодом электроныны движутся по спиральным орбитам, что увеличивает вероятность ионизации. Часть электронов попадает на титановый испаритель, дополнительно его разогревая.
