Турбомолекулярный насос

В последние годы широкое распространение получили турбомолекулярные насосы, которые позволяют получать практически безмасляный вакуум и имеют высокую скорость откачки. Схема такого насоса приведена на Рис. 4.

Рис. 4. Схема турбомолекулярного насоса: 1 – корпус, 2 – неподвижные платины, 3 – пластины ротора.

В турбомолекулярных насосах молекулы откачиваемого газа увлекаются быстро вращающимся ротором, линейная скорость поверхности которого сравнима со скоростью теплового движения молекул. Перепад давления между входом в насос и выходом из него пропорционален скорости и длине движущейся поверхности, соприкасающейся с потоком газа, и молекулярной массе газа. Такой насос может быть выполнен в горизонтальном или вертикальном исполнении и напоминает собой горизонтальный или вертикальный осевой многоступенчатый компрессор. Роторные и статорные диски насоса имеют радиальные косые прорези, боковые стенки которых наклонены относительно плоскости диска под углом 15—90°, причём прорези роторных дисков зеркальны относительно прорезей статорных дисков. При быстроте вращения ротора 6000— 90000 об/мин молекулы газа получают дополнительную скорость и увлекаются в каналы, образуемые прорезями в дисках, в направлении откачки. Насосы такого типа эффективно откачивают все газы, за исключением водорода. Противоток паров масла от форвакуумного насоса практически отсутствует.