Глава 14. Перспективы создания интегральных САС на основе нетрадиционной технологии металлообработки

Создание САС на основе автоматизации традиционных процессов металлообработки - реальный, но весьма длительный и дорогой путь сопряженный с решением технически очень сложной проблемы - автоматизации всех сборочных операций на борту САС.

А, что если попытаться изменить многостадийную технологию металлообработки, совместив процесс изготовления различных деталей с их взаимным пространственным размещением внутри создаваемого узла, или машины. Подобная технология изготовления изделий сразу в собранном виде была реализована в начале 60-х годов в полупроводниковом производстве и получила название интегральной. Вместо множества трудоемких операций обработки, сборки, пайки и монтажа каждой радиодетали теперь за несколько приемов с помощью фотолитографии, вакуумного напыления, ионного легирования и травления получают готовые электронные приборы (микропроцессоры, матрицы и т.д.), содержащие тысячи и миллионы различных радиодеталей. Замена технологии сборки дискретных элементов интегральной (бессборочной) позволило снизить трудоемкость и стоимость изделий в тысячи раз. Естественно стремление исследователей распространить эти способы и в других областях машиностроения. Наиболее крупные достижения интегральной технологии изготовления машин и механизмов сделаны сотрудниками исследовательского отделения робототехнических систем фирмы АТТ Бэлл Лэборэтриз, из Массачусетского технологического института. Они поставили перед собой цель - создать из кремния методами полупроводниковых производств микророботы, размерами в несколько миллиметров (для выполнения микрохирургических операций, производства электронных изделий и т.д.). К настоящему времени ими разработаны, изготовлены и успешно опробованы отдельные узлы и механизмы таких робототехнических систем. Среди них воздушная турбина с ротором диаметром от 125 до 240 мкм, (делает 15 тыс. об/мин), зубчатую передачу с 3 шестернями диаметром в несколько сот микрон и захват, состоящий из 2-х кулачков и зубчатого ползуна (с шириной раскрытия захвата - 400мкм). Все они имеют толщину 40-50 мкм изготовлены в собранном виде в результате выполнения нескольких последовательных операций на кремниевой подложки: 1) окисление верхнего слоя подложки при температуре =850⁰ С с последующей фотолитографией и ионным травление (СНF₃) отдельных участков окисла (получение корпуса механизма и воздушного зазора), 2) осаждение первого слоя поликремния (при 630⁰ С из смеси силана и водорода) с последующим его частичным окислением, фотолитографированием и селективным травление СНF₃ (получение подвижных частей механизма). 3) осаждение из паровой фазы при температуре= 700 ⁰ С слоя окисла кремния, его фотолитографирование и травление с целью создания воздушного зазора вокруг и над подвижными деталями,4) осаждение второго слоя поликремния при тех же условиях с последующим его частичным окислением фотолитографированием и ионным травлением с целью получения крышки корпуса. 5) вытравливание окиси кремния для освобождения движущихся деталей с помощью разбавленного раствора НF (операция длится до 48 часов). Зазор между трущимися деталями и осями доведен до 1, 2 мкм.1)

В электротехнических лабораториях Массачусетского технологического института (Кембридж, шт. Массачусетс) и Калифорнийского университета в Беркли (Сан-Диего шт. Калифорния) аналогичными интегральными методами созданы действующие миниатюрные электродвигатели. Двигатель с переменной емкостью, изготовлен на слое двуокиси кремния, который электрически изолирует его от кремниевой подложки. Мотор имеет фиксированную ось из нитрида кремния, окруженную (но не связанную механически) плоским поликремниевым ротором, состоящим из втулки с несколькими радиальными крыльями-полюсами. Диаметр ротора -100 мкм. Статор состоит из различного числа поликремниевых полюсов, окружающих ротор. Импульсы напряжения, генерируемые простыми микросхемами и прикладываемые к расположенным друг против друга парам полюсов статора, генерируют электростатическую силу, создающую крутящий момент между смещенными полюсами ротора и статора, что вызывает вращение ротора.2)

В лаборатории «Сандиа» (шт. Нью-Мексико, США) аналогичными интегральными методами создана из кремния микропаровая машина (площадь поршня - 12 мкм², ход поршня -20 мкм).3)

Однако описанные технологии малоподходящие для САС. Кремний - хотя и самый распространенный, но хрупкий, плохо проводящий электрический ток материал, извлекаемый из сырья по сложной технологии. Операции с ним требуют сложного оборудования. Скорость наращивания готовых кремниевых узлов и машин низкие. Поэтому такая технология годится только для микротехники, имеющий ограниченную сферу применения (в электронных устройствах хирургии и т.д.). Более перспективным для интегральных САС является основной конструкционный материал машиностроения—железо. Оно обладает хорошей прочностью, электропроводностью, ферромагнитными свойствами, распространено в природе и легко извлекается из сырья. Осаждение и формообразование железных слоев может осуществляться различными способами. Основные из них: 1) вакуумное (катодное, испарением и т.д.), 2) газофазное (разложением карбонилов), 3) распыление расплава (в электродуге, газовом пламени и т.д.), 4) наплавка, 5) гальваническое осаждение (гальванопластика). Наиболее прост и удобен последний способ. Гальваническое осаждение не требует сложного оборудования (вакуумных установок и т.д.), осуществляется при обычных температурах, с относительно высокой скоростью (до 0,25 мм/час, а в механогальваническом проточном режиме — до 4 мм/час). При правильно подобранных режимах обеспечивается хорошее качество осадков. Из различных металлов методами гальванопластики получают пресс-формы, штампы, типографские стереотипы, шлифовальные круги, печатные плата и гибкие кабели, печатные обмотки дисковых якорей электромашин, фольгу, сетки, сосуды давления, детали ракетных двигателей, солнечные рефлекторы, трубы, волноводы, детали часов и т.д.

Опишем один из возможных вариантов применения интегральной технологии изготовления узлов и машин на основе многослойного последовательного гальванического осаждения железа в парафиновых матрицах (масках, формах).

В парафиновом слое (минимальной толщиной 0,1-1 мм и максимальной до 1 см) с помощью трафаретов или координатографа формируются «пробельные» места, соответствующие профилю разреза деталей соответствующего сечения изготовляемого узла или машины. При наложении парафиновой маски на поверхность катода в гальванической ванне железо будет осаждаться только на участках свободных от парафина, воспроизводя сечение машины. После заполнения железом «окон» маски, накладывается следующая с новой конфигурацией «окон» и так далее пока не будет воспроизведена вся машина или узел. Но это в принципе. Для того, чтобы по этой технологии можно было изготовлять работоспособные узлы и машины, нужны дополнительные операции. Во—первых, для осаждения железа в «окнах» изолированных от катода и от предыдущих осажденных слоев, необходимо отдельные участки поверхности парафиновых матриц металлизировать (для получения электропроводящего слоя). Во—вторых, у тесно соприкасающейся поверхности трущихся деталей (осей вращения, зубчатых колес, винтовых пар, поршневых групп и т.д.) разделительный участок парафиновой маски создать очень трудно или вовсе не возможно, с помощью трафарета или координатографа. Нужны будут другие технические решения. Одно из них — отдельное гальваническое изготовление закладного элемента одной из пары трущихся деталей, покрытие его разделительным слоем и перенос в соответствующее «окно», где по конфигурации закладного элемента будет формироваться трущаяся часть другой детали. В— третьих, детали, изготовляемые из неметаллических материалов или других металлов должны быть изготовлены отдельно и затем вставлены в машину или сформированы в процессе гальванического наращивания специальными способами. В — четвертых, неизбежной особенностью гальванического процесса является появление дендридов и шероховатостей на осаждаемой поверхности. Для снятия их необходимо периодическое механическое или электрохимическое шлифование. В—пятых, для повышения прочности и пластичности электролитическое железо после осаждения обычно отжигают при температуре 300-600 ⁰ С с целью удаления растворенного в нем водорода. Такая операция осуществима будет только в отношении узлов и машин не содержащих деталей из органических и других не теплостойких материалов. В противном случаи изготовленное изделие подлежит только незначительному нагреву (до @ 100⁰ С) с целью выплавления парафиновой маски.

В целом полный цикл может выглядеть следующим образом:

1) нанесение на металлическую подложку разделительного слоя (например, раствора парафина в бензине) и сушка его;

2) нанесение на подложку I -ой парафиновой маски через трафарет;

3) опускание подложки в гальваническую ванну и осаждение на «пробельные» места маски тонкого слоя железа (толщ @ 10мкм); (подложка подключается как катод);

4) нанесение на металлизированные места подложки II-ой парафиновой маски через трафарет;

5) нанесение на подложку через трафарет полимера или другого конструкционного материала (для электроизоляции и других целей) и сушка его;

6) наложение масок с подложкой на наращиваемую поверхность катода в гальванической ванне;

7) электротравление металлического слоя подложки, не покрытого масками (включение подложки в электроцепь в качестве анода, перенос слоя железа на катод и «приварка» его с его помощью парафиновых масок к катоду);

8) возвращение подложки в исходное положение с одновременным переносом масок на катод;

9) нанесение разделительного слоя на вспомогательную подложку и сушка его;

10) нанесение парафиновой маски через трафарет на вспомогательную подложку с целью получения «окон» для формовки закладных деталей;

11) опускание вспомогательной подложки в гальваническую ванну, включение ее в качестве дополнительного катода и формирование электроосаждением закладных деталей;

12) подъем вспомогательной подложки из ванны и удаление парафиновой маски нагревом, одновременно включение электромагнита подложки для фиксации закладных деталей на подложке;

13) Наложение вспомогательной подложки с закладными деталями на основной катод;

14) Перевод закладных деталей на основной катод путем включения электромагнита, основного катода и отключения электромагнита вспомогательной подложки;

15) Возврат вспомогательной подложки в исходное положение;

16) Включается и непрерывно работает до начала нового цикла устройство снятия дендридов, и неровностей (шлифовальное) с одновременной непрерывной фильтрацией электролита.

После достижения осаждаемого железа металлизированного верхнего слоя парафиновых масок включается программа цикла изготовления нового слоя.

После окончания изготовления узел или машина извлекаются манипулятором из гальванической ванны, в специальной камере освобождается от парафиновых масок нагреванием до 100 ⁰ С, промывается водой с содой,сушится и в случаи необходимости отжигается в защитной атмосфере.

Рассмотрим конкретные примеры интегрального изготовления отдельных узлов и машин:

1) Роликовый подшипник на подложке основного (ОП) катода формируется 1-ый слой с концентрически расположенными внешним и внутренним кольцом подшипника (кромки колец увеличенные) и между ними — кольцо сепаратора. По 2-ому слою формируются кольца подшипника с дорожками (уменьшенными стенками) и межроликовые стенки сепаратора. По 3-му слою тоже самое, но в матрице — отверстия сделаны под ролики (без токоподвода).

Одновременно на вспомогательной подложке по парафиновой матрице осаждаются ролики. После выплавки матрицы подложка с роликами (положение роликов фиксируется электромагнитом подложки) совмещается с основой. На нее накладывается 4 -ый слой аналогичный 2-ому, но с верхним электропроводящим слоем (для межкольцевого пространства). Последний 5-ый слой—аналогичен 1-ому.

2) Электромагнитная катушка с сердечником.

На вспомогательную подложку с нанесенным токопроводящим слоем по трафарету откладывается парафиновая матрица спирали витков 1-ого слоя катушки. Свободные участки токопроводящего слоя удаляются (электролизом, кислотой) и на них заливается быстротвердеющая пластмасса (с температурой плавления выше, чем у матрицы). Парафин выплавляется и вместо него осаждается железный провод. Вспомогательная подложка совмещается с основной, на которой по матрице формируется сердечник, и переносит спираль витков с изоляцией. Затем также формируется на вспомогательной подложке 2-ой изолирующий слой пластмассы с отверстием для соединительного провода (без осаждения). 2-ой слой переносится на основную подложку, где осаждается соединительный провод. Затем аналогично.

2) Электромагнитная катушка с сердечником.

На вспомогательную подложку (ВП) наносится слой электропроводящий пленки (ЭП), наносится затем 1-ый слой парафиновой матрицы (ПМ) с отверстием для соединительного провода, в которое осаждается железо (ОЖ). ПМ вытапливается и вместо нее заливается быстротвердеющая пластмасса (устойчивая при температуре плавления матрицы). На нее наносится 2-ой слой ЭП (переносом, порошком и т.д.) и 2-ой слой ПМ по трафарету с выделением зазоров между витками 1-ой спирали обмотки. Из свободных участков удаляется ЭП (электролизом, травлением кислотой) и заливается пластмасса. Потом выплавляется ПМ.

3) редуктор с 2-мя зубчатыми колесами и подшипниками скольжения.

На ВП наносится ЭП и по трафарету ПМ с выделением двух колец подшипников, затем ОЖ, удалением ПМ и нанесение на подшипники тонкого изолирующего слоя (ИС) (раствор парафина в бензине). Затем перенос подшипников на ОП (с фиксацией электромагнитом) и нанесение на нее слоя ЭП и через трафарет 1-ого слоя ПМ с выделением боковой стенки корпуса редуктора, перенос на основной катод, ОЖ. Формирование на ОП слоя ЭП и 2-го слоя ПМ с выделением торцевых стенок и свободной части осей редуктора, перенос на катод и ОЖ. На ВП наносится ЭП и по трафарету ПМ одного из зубчатых колес (или его обода), ОЖ удаляется ПМ, зубчатое колесо покрывается ИС и переносится на катод. На ОП наносится 3-ый слой ПМ (без ЭП) с теми же контурами, что 2-ой слой + контур 2-х сцепленных зубчатых колес, затем переносится на катод и ОЖ. На ОП наносится 4-ый слой ПМ (без ЭП) такой же как и 2-ой слой ПМ, переносится на катод и ОЖ. Далее на ОП наносится ЭП и 5-ый слой ПМ такой же как 1-ый слой, переносится на катод и ОЖ. Предварительно на ВП формируются, осаждаются и переносятся на катод 2 подшипника, аналогично описанным выше. Завершает формирование на ОП 6-ого слоя ПМ с контуром 2-х осей (выходящих из корпуса редуктора для подключения других механизмов), перевод на катод и ОЖ.

4) Дисковой электромотор.

На ВП наносится ЭП и ПМ с контуром кольца

подшипника, ОЖ, удаление ПМ, покрытие ИЭ и перевод

на катод. На ОП наносится 1-ый слой ПМ с контуром торцевой крышки мотора, перенос на катод, ОЖ. На ОП наносится 2-ой слой ПМ с контуром боковых стенок, сердечников статора и вала, перенос на катод, ОЖ. Предварительно на ВП делают ЭП, и ПМ с контуром зазоров между витками обмотки статора, травят ЭП, удаляют ПМ, наносят новый слой ПМ с контуром щеки катушки статора, наносят на свободный участок слой полимера, удаляют ПМ и переносят щеки на катод. На ВП наносят новую ПМ с контуром зазоров между витками обмотки, заливают свободные участки полимером, ПМ удаляют, переносят на катод. На ОП повторяют 2-ой слой, переносят на катод, ОЖ. На ВП наносят ЭП и ПМ с контуром зазоров между новыми витками обмотки статора, травят ЭП, удаляют ПМ, наносят новый слой ПМ с контуром соединительного провода (между слоями обмотки) и контуром межслойной электроизоляции, заливаются полимером свободные места, удаляется ПМ, перенос на катод и ОЖ (соединительного провода) после переноса с ОП повтора 2-ого слоя. Затем идет повторение предыдущих операций по числу рядов витков обмотки статора. Потом с ВП переносится вторая щека катушек статора (те же операции, что и с первой). Далее на ОП наносится 3-ый ПМ с контуром боковых стенок башмаков статора, оси, переносится на катод и ОЖ. 4-ый слой ПМ тот же, но без башмаков статора. На ВП наносится ЭП и МП с контуром зазоров обмотки якоря, травится ЭП, удаляется ПМ и наносится новая с контуром нижней обмотки якоря, ОЖ. Наносится ПМ с контуром диска якоря, заливается полимером, подращиваются боковые обмотки -ОЖ. Покрытие верха диска ЭП и ПМ с контуром зазоров верхней обмотки якоря, травление ЭП, удаление ПМ, нанесение нового ПМ с контуром обмоток якоря, ОЖ, удаление ПМ, перенос якоря на катод. Далее формовка и ОЖ еще одного слоя, как 3-ый на ОП + щетки. На ОП наносится 5-ый слой с верхней крышкой, осью. Предварительно на ВП формируется подшипник (как первый) и изоляция щеток (еще одна ПМ с контуром изоляции, заливка полимера, удаление ПМ, перенос на катод).

Реальная осуществимость создания гальванической интегральной САС требует введения ряда ограничений и упрощений:

1) габариты интегральной САС и ее узлов должны быть уменьшены по сравнению с традиционной многократно. Особенно по высоте (вплоть до 1 м и менее), чтобы достигнутые скорости гальванического железнения (до 0,2-0,5 мм/час) обеспечили приемлемую скорость самовоспроизводства САС.

2) Более низкий предел прочности электролитического железа (неоттоженного — 73,5-77,6 кг/мм² и оттоженного —26-30 кг/мм²) и твердость (у оттоженного — 50-95 ед НВ по Бринелю) чем у конструкционной стали (предел прочности s_в у марки 40-75 кГс/мм²), низкоуглеродистой стали (s_в –36-40 кГс/мм², твердость —121-143 ед. НВ), чугуна (у серого s_в —12-38 кГс/мм² и 140-350 НВ, у высокопрочного —40-80 кГс/мм² и 150-300 НВ) и т.д. компенсируется соответствующим усилением деталей и другими конструкционными решениями;

3) Медные и алюминиевые токопроводящие провода и элементы заменяются железными с соответствующим увеличением сечения пропорционально удельной электропроводности (у электролитического железа —9,71х 10^-6 ом см против 2,8х 10^-6 ом см у алюминия и 1,75 х 10^-6 ом см у меди).

4) На САС используется помимо железа только самое необходимое минимальное количество конструктивных и вспомогательных материалов, изготавливаемых по упрощенным технологиям;

5) Все приборы и автоматика должны быть выполнены на релейной и пневматической базе, воспроизводимой гальваническим способом.

6) Общее управление и коррекция работы САС осуществляется из центрального пункта по проводам.

7) Узлы САС конструируются так, чтобы максимально сократить требуемое число слоев и увеличить их толщину. С этой целью оси вращения деталей проектируются преимущественно вдоль наращиваемых слоев.

Энергопитание интегральная САС может получать от солнечных термодинамических, ветровых, волновых энергоустановок, от сжигания в газогенераторах близлежащего торфа или биомассы. Первые три типа энергоустановок работают от не постоянных источников энергии и должны поэтому дополняться аккумулирующими устройствами. Наиболее простым способом аккумуляции энергии будет электролизное получение водорода (возможно под давлением), закачка его компрессором в баллоны или дополнительный синтез жидких углеводородов, с последующим использованием их в резервном мотор- генераторе.

Солнечные, ветровые, волновые энергоустановки проектируются в виде микромодулей, габариты которых полностью вписываются в объем гальванической ванны железнения. Изготовленные энергоустановки расставляются транспортным средством вокруг интегральной САС в требуемом количестве. Каждый модуль снабжен самоанкерующим устройством для крепления на грунте и запасом провода, по которому он снабжает САС энергией.

Торф и биомасса собираются и доставляются транспортирующим средством для переработки на борту САС.

Основной конструкционный материал — железо извлекается из глины, песка и других окружающих пород путем обогащения на электромагнитном (высокоградиентном) или валковом сепараторе, а также возможно на концентрационном столе, на электростатическом сепараторе, с последующим восстановлением неокускованного концентрата водородом или генераторным газом в трубчатой электропечи, аналогично технологии описанной в гл.5.. После магнитной перечистки продукт поступает на гальваническое железнение. Возможны другие варианты металлургического передела. Например, предварительный восстановительный обжиг сырья с последующей магнитной сепарацией (это облегчает выделение железосодержащих компонентов из такого труднообогатимого сырья, как глина). Из восстановленного продукта железо может быть извлечено выщелачиванием раствором FeCl₃ (по реакции Fe+FeCl₃ ®Fe Cl₂) с последующим электролизным выделением железа. Возможно также солянокислое или сернокислое выщелачивание железа из сырья с последующей отгонкой свободной кислоты и электролизом соли (недостаток — попутное растворение других элементов, большой расход кислот). Возможно также выделение железа хлорированием по способу Кангро (описан в гл.5), катодным восстановлением в щелочном электролите и некоторыми другими способами. Выбор их будет зависеть от состава сырья, доступности реагентов, энергообеспеченности.

При наличии необходимого сырья (кальцита и глины) возможно получение цемента и бетона.

Для получения хлористого электролита нужен хлор, источником которого в природе в основном служат NaCl и KCl. Если они имеются в достаточном количестве в окружающем сырье, тогда хлор извлекается электролизом рассолов NaCl или KCl. Аноды могут быть угольные или магнетитовые. Последние будут более технологичны. Если их получать окислением железных стержней в среде водяного пара при 1000-1100 ⁰ С по способу описанному в гл.6. Кроме того они устойчивы к выделению кислорода, поэтому в электролизере с магнетитовыми анодами можно также вести электролиз воды для получения водорода. Полученный хлор идет на получение хлористого железа для электролита (путем хлорирования железа или железосодержащего сырья в электропечи при 900⁰ С), хлористого алюминия для оргсинтеза (путем хлорирования глины) и соляной кислоты для корректировки электролита путем сжигания Cl₂ и H₂ (наиболее простой и безопасный вариант — пропускание Cl₂ и H₂ через раскаленный уголь). Остающаяся после электролиза рассола щелочь очищается, концентрируется и идет на получение жидкого стекла (путем щелочной обработки песка).

Из органических соединений прежде всего необходимы: 1) парафин (для гальванических матриц), 2) смазочные масла, электроизоляционные материалы, в т.ч. для проводов, 4) антикоррозионные покрытия. Если имеются углеродосодержащие источники (торф, биомасса) то сырьем будет служить водяной газ полученный из них в газогенераторе. Если таких источников нет, тогда САС должна быть оснащена более сложной системой улавливания углекислоты из воздуха и конверсии ее электролизным водородом до СО, по одной из схем описанной в гл.7. Смесь СО и Н₂ идет на синтез углеводородов по способу Фишера -Тропша (на железных катализаторах, при атмосферном давлении). Из продуктов реакции выделяется наиболее твердая фракция парафинов, которая идет на изготовление гальванических матриц. Часть остального продукта поступает на каталитический крекинг в присутствии AlCl₃ (для синтеза синтетических смазочных масел по описанной на стр. технологии). Наиболее простым по технологии электроизоляционным и антикоррозионным материалом среди полимеров являются фенол—крезол—формальдегидные смолы.

Сборка готовой САС осуществляется манипулятором из модулей, выращенных в гальванических ваннах. Наземный вариант САС будет состоять примерно из 10 типов модулей выращенных в гальванической ванне: 1) энергомодулей, 2) модулей шасси, 3) самоходного добывающего устройства? 4) обогатительного модуля, 5) модуля вспомогательных химикатов, 6) координатографа, 7) гальванических ванн с обслуживающим оборудованием, 8) камеры промывки и термообработки модулей (отжига и т.д.), 9) подвижного манипулятора, 10) модуля аналогового управления и программ, 11) металлургического модуля.

Энергомодули— это небольшие полностью автономные солнечные, ветровые, газогенераторные электроустановки с габаритами вписывающимися в объем гальванической ванны. Количество энергомодулей определяется энергетической потребностью САС. Если число их небольшое, то они устанавливаются на борту самой СаС, если требуется много модулей, то их целесообразно размещать на отдельных колесных шасси, прицепляемых друг за другом к САС. При этом энергомодуль изготавливается вместе с шасси в одной ванне как одно целое. Каждый энергомодуль подсоединяется к САС своим электропередающим и управляющим кабелем. После буксировки в район размещения прицепные модули закрепляются стационарно (например, с помощью самоанкерующих устройств и т.д.).

Модуль шасси представляет собой самоходный колесный движитель (скорее всего 2-х колесный с одной осью) с электроприводом, подвеской и рамой, служащей основанием для монтажа других модулей САС. Рама изготавливается составной с выдвигающимися или раскладывающимися элементами для создания основания значительной площади. Количество модулей шасси зависит от размеров САС. Минимальное число модулей — два (переднее и заднее). Для осуществления поворотов при передвижении САС каждое шасси может быть оснащено поворотным устройством. Но более простое техническое решение — блокировка колес правого или левого борта (как у гусеничных машин). Управление движением дочерней САС в район размещения будет осуществляться из центрального поста.

Добывающее устройство представляет собой малогабаритное самоходное средство собирающее грунт скрепером (или другим способом) и транспортирующее его на борт САС челночными рейсами. Энергоснабжение и управление устройствами осуществляется по проводам от САС.

Обогатительный модуль в простейшем варианте состоит из электромагнитного сепаратора и вспомогательного оборудования (грохота и т.д.). Кроме того может быть в нем размещено оборудование для выделения кальцита, кварца (электростатический сепаратор и т.д.), для обезвоживания торфа (электроосматическая установка и т.д.). Возможно изготовление нескольких обогатительных модулей с разным оборудованием. Состав металлургического модуля зависит от выбранной технологии выделения железа (хлорирования и т.д.). В него может входить электропечь восстановительного обжига, аппарат для выщелачивания сырья (с мешалкой и нагревом), электролизер для выделения железа и регенерации растворителя, вспомогательное оборудование.

Состав модуля вспомогательных химикатов зависит от вида применяемых химикатов и технологических схем их производства. Минимальный перечень производимых продуктов: 1) хлористое железо и соляная кислота для приготовления электролита, 2) парафин— для гальванопластических матриц, 3) элетроизоляционные материалы и коррозионностойкие покрытия (например, фенол—крезол—формальдегидные смолы), 4) смазочные масла, 5) электроды (железо окисленное до магнетита), 6) катализаторы (AlCl₃, железо с К₂О, Fe₂O₃), 7) керамика (для футеровки печей). Возможно также получение бетона, жидкого стекла и т.д. В минимальном варианте модуль будет состоять из 2 линий: 1) хлорных продуктов, 2) органических продуктов. Первая линия включает в себя электролизер колокольного типа со сменными магнетитовыми анодами (для электролиза раствора NaCl и воды). Электропечь с устройством загрузки - выгрузка сыпучего сырья (для получения FeCl₂ хлорированием железа, железосодержащих минералов, AlCl₃ хлорированием глины, HCl реакцией H₂ и Cl₂ на раскаленном угле, осажденном из СО на железном порошке), поглотительную колонну с водой (для AlCl₃ — с парафином). Линия органических продуктов состоит из последовательно соединенных: 2-х поглотителей углекислоты из воздуха (или газогенератора биомассы, торфа), трубчатой электропечи для конверсии СО₂ в СО в присутствии Н₂ (катализатор Fe₂O₃, t =), трубчатого реактора синтеза углеводородов из СО и Н₂ (катализатор Fe +1% K₂ O, t =180-200 с); аппарата для сбора, разделения, смешивания с AlCl₃ и подогрева жидких и твердых фракций углеводородов, электропечи для крекинга и пиролиза углеводородов; аппарата для сбора непрореагировавшего парафина и пиролизной смолы; многоцелевой аппарат с мешалкой, электроподогревом, охлаждающей рубашкой (для полимеризации и очистки смазочных масел, синтеза фенолов и крезолов из пиролизной смолы, фенол—формальдегидных смол).

Для футеровки (печей хлорирования и т.д.) может быть использована обычная глина, т.к. максимальные температуры процессов не более 900⁰. Если потребуются более высокие температуры (например, обжиг цементного клинкера до 1200 ^о и т.д.), то футеровку выполняют из кварцевого песка с добавкой жидкого стекла. Для получения последнего модуль дооснащается железным автоклавом на давление до 20-25 атм с электрообогревом и мешалкой. Чтобы вписаться в габариты, допустимые для модуля изготавливаемого в гальванической ванне, все оборудование проектируется миниатюрным с компактным размещением и минимальным расстоянием между аппаратами. При необходимости оборудование может быть размещено в нескольких модулях.

Каждая гальваническая ванна вместе с обслуживающим оборудованием выполняется как отдельный модуль. Кроме корпуса ванны модуль включает в себя: 1) катод с механизмом его перемещения, 2) камеру с анодом (нерасходуемого из магнетита или расходуемого железного), 3) устройство формовки парафиновой матрицы по шаблону, 4) устройство совмещения матрицы с катодом, 5) вспомогательный катод закладных деталей и механизмов совмещения его с основным катодом, 6) шлифовальное устройство для снятия дендридов с катода, 7) насос с песчаным фильтром для очистки электролита, 8) электроподогреватель электролита, 9) крышка ванны, 10) кассета с шаблонами. Все оборудование кроме корпуса ванны и крышки изготавливается гальваническим способом. При этом необходимо добиться максимально компактного размещения всего оборудования, чтобы оно вписывалось в габариты ванны. Корпус ванны и ее крышка формуются отдельно из бетона или песчано-жидкостекольной смеси (для повышения водостойкости обрабатываемой затем раствором СаСL₂) путем последовательной контурной формовки в скользящей опалубке с помощью манипулятора (подающего смесь и передвигающего опалубку). При необходимости корпус ванны футеруется коррозионностойким покрытием, например, из фенол—формальдегидной смолы. Число гальванических ванн зависит от общего числа модулей, скорости осаждения железа, сроков воспроизводства САС. Одна ванна (или несколько) будет специализироваться на копировании шаблонов для дочерней САС.

Координатограф служит для вырезки парафиновых матриц оригинальной формы (отсутствующей в наборе шаблонов) или для воспроизводства испортившихся шаблонов. Резец совершает прямолинейные или круговые движения с помощью шаговых дисковых электродвигателей управляемых по сигналам с центрального пульта обслуживания системы САС. Для управления резцом нужны как минимум 3 шаговых электропривода (для осей Х и Y и углового поворота резца).

Камера промывки и термообработки (для вытапливания парафиновой матрицы и низкотемпературного отжига модулей, когда это предусматривает технология) состоит из корпуса, крышки, нагревательных элементов, сборников парафина, насосов. Корпус и крышка камеры, также как у гальванических ванн изготавливаются из песчано - жидкостекольной смеси (или бетона) манипулятором, а остальное оборудование гальванопластикой.

Подвижный манипулятор предназначен для выполнения следующих операций: 1) выгрузки изготовленных модулей из гальванических ванн и подачи их в камеру промывки и термообработки, 2) установка, крепление и электрическое подсоединение готовых модулей, 3) подача к гальваническим ваннам порций железного сырья, парафина, кассет с шаблонами, других материалов, 4) текущее обслуживание всех модулей (заливка смазочного масла, смена магнезитовых анодов, возобновление футеровки печей и антикоррозионных покрытий и т.д.), 5) монтаж в модулях закладных неметаллических деталей и нанесение покрытий на гальванически выращиваемые детали (электропровода и т.д.), 6) формовка корпусов и крышек гальванических ванн, камеры очистки и термообработки, 7) формовка из песочно-жидкостекольной смеси (бетона и т.д.) стен и крыши корпуса САС. Все перечисленные операции могут быть выполнены перемещением конечного звена (схвата) в вертикальной плоскости (вверх-вниз). Поэтому конструкция манипулятора может быть наиболее простого типа (тип «Скара») и с минимальным числом степеней подвижности —4-5 (оси a, h продольное перемещение, схват). Грузоподъемность манипулятора должна быть достаточной для подъема изготовленного модуля, высота его рабочей зоны — не ниже удвоенной высоты самого высокого модуля, а радиус вылета руки — достаточный, чтобы достать до стенки корпуса САС. Точность позиционирования может быть не выше ± нескольких миллиметров, но для этого нужно сконструировать механические крепления модулей и электрические разъемы допускающие такую погрешность при соединении. Отсутствие потребности в высокоточных перемещениях позволяет обойтись без систем технического зрения и других сложных электронных средств адаптивного управления. Электропривод для манипулятора наиболее удобен шаговый, т.к. высокоточен, прост в управлении и не требует датчиков обратной связи. Управление манипулятором осуществляется по набору цикловых программ, находящихся в модуле управления. Чтобы манипулятор мог быть изготовлен в виде законченного модуля, он должен компактно складываться. Для этого вертикальная стойка, обеспечивающая перемещение руки манипулятора «вверх-вниз», должна быть сделана телескопической. Для продольного перемещения вдоль всех технологических модулей САС манипулятор монтируется на колесную тележку, двигающуюся по рельсовому пути с зубчатой рейкой. Рельсовый путь зубчатой рейки в виде сложенных стопкой готовых звеньев изготавливается как отдельный модуль, который затем раскладывается материнским манипулятором. Чтобы облегчить точную фиксацию рельс, каждое звено должно иметь боковые продольные направляющие, вдоль которых перемещается вышележащее звено, и торцевые упоры, ограничивающие это перемещение по достижении стыка рельсов. Уложенные звенья соединяются сваркой нижних поверхностей рельс специально расширенных на концах звеньев и привариваются к основанию корпуса САС. Для перечисленных выше операций манипулятор должен быть оснащен следующими сменными самоустанавливающимися схватами и приспособлениями: 1) схватом для перемещения модулей (зацепное приспособление на всех модулях должно быть унифицировано), 2) схватом для соединения электрических разъемов модулей, 3) сварочной головкой, 4) набором переставляемых опалубок, 5) саморазгружающейся бадьей для транспортировки пескожидкостекольной или бетонной смеси, 6) схватом для транспортировки контейнеров с железом, парафином, смазочным маслом, другими химикатами.

Модуль управления и программ состоит из считывающего устройства, набора сменных перфорированных дисков с записанными на них цикловыми программами управления работой оборудования гальванических ванн, манипулятора, других модулей. В данном модуле находятся также кассеты с эталонными шаблонами. Модуль управления и программ должен иметь кабельную связь с центральным постом управления системой САС (возможно с обратной связью).

Принципиальным для создания гальванической интегральной САС будет возможность получения толстых качественных осадков железа с высокой скоростью. Поэтому на этих проблемах остановимся подробнее. Гальваническое железнение, открытое еще в 1869 г. в России, в настоящее время применяется в основном только для восстановления изношенных деталей и для изготовления типографских стереотипов. Основная причина — капризность процесса и легкая окисляемость осадков. Осаждаемый слой железа обычно не превышает нескольких миллиметров. В интегральной САС же необходимо формировать прочные осадки толщиной в десятки и даже сотни сантиметров с достаточно высокой скоростью. К сожалению с ростом толщины растут внутренние напряжения осадков, приводящие к их растрескиванию, закручиванию. Кроме того процесс железнения осложняется 2-мя обстоятельствами: во—первых, в электролите ионы железа легко окисляются и переходят в трехвалентное железо. Образующиеся при этом в растворе гидроокись железа и Fe³⁺ откладываются в гальваническом осадке и портят его, осадок становится темным и хрупким(процесс питтингообразования). Во—вторых, потенциал железа близок потенциалу водорода и они совместно выделяются на катоде. Молекулярный водород в виде пузырьков газа адсорбируется на поверхности железного осадка и образует поры, снижающие прочность осадка. Часть атомарного водорода внедряется в кристаллическую решетку железного осадка, образуя дислокации усиливающие внутреннее напряжение осадка.

Для снижения уровня питтингобразования кислотность электролита поддерживается не ниже определенного уровня. С помощью перемешивания электролита выравнивается кислотность прикатодного слоя, который всегда более защелоченный, чем остальной электролит. Площадь анодов берется в 1,5-2 раза больше площади катодов, чтобы компенсировать более медленное растворение анодов, чем осаждение железа на катоде. Широко применяются различные добавки к электролитам, которые играют роль буфера или способствуют восстановлению Fe³⁺ в Fe²⁺. Рекомендуется также защищать поверхность электролита (особенно горячего) от окисления воздухом с помощью пенопластовых кусочков и т.д. Тем не менее полностью предотвратить накопление ионов Fe³⁺ в электролите не удается и периодически он подвергается регенерации. Простые электролиты (без добавок) обычно восстанавливаются нагреванием с железной стружкой, пропусканием через железные трубы и т.д. Для электролитов с некоторыми добавками требуются более сложные процессы регенерации.

Для снижения выделения водорода на катоде и внутренних напряжений в осадке прежде всего стремятся уменьшить кислотность электролита (до уровня исключающего питтингообразование), повысить концентрацию соли железа в электролите и поднять рабочую температуру электролита. Все эти меры способствуют понижению поляризации электродов, увеличивают выход по току железа и одновременно снижают выход по току водорода. Осадки из горячих концентрированных электролитов получаются крупнозернистые, более прочные и эластичные, менее твердые, с низким внутренним напряжением (меньшим числом трещин и т.д.). Большое значение имеет катодная плотность тока. С ростом плотности тока уменьшается величина зерен осадка, снижается число ионов железа вблизи катода, увеличивается поляризация, что ведет к падению потенциала железа в прикатодном слое. Ионы движутся с увеличенной скоростью, разряжаются в случайных местах, создают новые центры кристаллизации, в результате осадки получаются мелкозернистые, более твердые, но менее гибкие, более насыщенные водородом.

Негативно на качестве осадков сказываются колебания температуры, кислотности, плотности электролита, катодной плотности тока. Изменение этих условий ведет к осаждению слоев разной твердости, зернистости, что способствует усилению внутренних напряжений в осадке, его растрескиванию и т.д. Особенно ответственным является осаждение первых слоев осадка. В начале электролиза на катоде всегда больше выделяется водорода, что приводит к большим внутренним напряжениям в первых слоях, ведущих в последующем к растрескиванию, отслаиванию и закручиванию осадка. Чтобы снизить внутренние напряжения в начале осаждения процесс ведут с пониженной катодной плотностью тока.

Кроме изменения стандартных условий проведения электролиза, для снижения внутренних напряжений осадков, уменьшения содержания в них водорода и для увеличения допустимой катодной плотности тока применяются дополнительные приемы физического воздействия на электроосаждение: 1) реверсирование тока, 2) наложение пульсирующего тока, 3) электролиз в проточном электролите, 4) вращение катода, 5) покрытие анода пористым экраном, 6) наложение магнитного поля, 7) воздействие на электролит ультразвуковыми колебаниями.

Последние два способа оказались малоэффективными. Воздействие магнитного поля снижает содержание Н₂ в осадках всего в 1, 1 раза.4) Наложение ультразвукового поля (объемной мощностью 160 вт/л и частотой 16-25кгц), хотя и ускоряет холодное железнение в 2-6 раз, но при этом повышает микротвердость осадков на 50-60%,5) увеличивается наводораживание.6)

При анодоструйном железнении (из хлористой ванны) водородосодержание осадков уменьшается в 1,5-2 раза 7) и позволяет увеличить катодную плотность.

Реверсированием тока путем изменения полярности электродов существенно уменьшает внутренние напряжения, пористость и наводораживание осадков, уменьшает дендридообразование и позволяет повысить плотность тока. Например, при режиме реверсирования: катодный период - 12,6 сек, анодный период -2,4 сек из хлористого электролита (425 г/л FeCl₂ х 4 H₂O 60 г/л NaCl, 5 г/л MnCl₂, 1г/л HCl) прочный осадок микротвердостью 239 кг /мм² был получен при 98⁰ и катодной плотности - 125 а/дм² (скорость покрытия - 0,53 мм/час), в то время как при стационарном режиме при плотности тока свыше 20 а/дм² образуются трещины в осадке.8) Еще больший эффект достигается при наложении переменного тока промышленной частоты на постоянный. Так, при ассиметричном токе длительностью в анодный период 5 сек (плотность тока 130 а/дм²) и в катодный период - 5 мин (плотность тока до 260 а/дм²) из концентрированного хлористого электролита получали качественное покрытие микротвердостью до 500 кг/мм² со скоростью 0,8 мм/час. 9) Однако такие высокие скорости осаждения применялись для сравнительно не толстых покрытий.

В большей степени, чем реверсивный ток снижает наводораживание прерывистый ток. 10) Для осаждения толстых осадков высокой твердостью и с низким внутренним напряжением рекомендуются простые (без добавок) кислые электролиты с использованием импульсного (прерывистого) тока с катодной плотностью 1-500 а/дм², длительностью импульса —0,1-500сек, длительностью паузы —1-500сек. Например, из электролита содержащего 80 г/л железа (в виде FeCl₂) с рН=4,5 при t= 70⁰ С, Dк =100а/дм², длительности импульса —10 сек, продолжительности паузы —10 сек. Осаждаются толстые покрытия слоистой структуры с микротвердостью 300 кГс/мм² и внутренним напряжением 1 кГс/мм².11)

Все перечисленные выше приемы уменьшения внутренних напряжений, наводораживания осадков и снижения окисляемости электролитов могут быть использованы на интегральной САС с целью получения высококачественных гальванопластических деталей и узлов.

Кроме физических способов улучшения качества осадков и электролитов очень широко в исследовательской и производственной практике используются химические методы, основанные на введении различных улучшающих добавок в электролиты. Так, в отечественной и зарубежной литературе предлагаются для повышения пластичности и трещиноустойчивости, уменьшения наводораживания осадков следующие добавки: MnCl₂ ·7H₂O (до 10 г/л) 12); 10 г/л NH₄ HF₂, (в сульфаминовый электролит - р-р Fe (SO₃NH₂)₂) 13); 180 г/л тиомочевины (или мочевины) и 25 г/л H₃BO₃(в сульфаминовую ванну) 14) 15), 16 г/л (NH₄)₂SO₄, 0,01 % арил сульфонат, 5х10х10^-1 % муравьинокислого буфера (содержит муравьиную кислоту, NH₄OH, (NH₄)₂·SO₄)16); CaCl₂17); 0.3 г/л NaHF и 1,3 г/л изопропилового спирта (для фторборатных ванн) 18); 0,00005-0,1 моль фенола, нитрофенола, хлорфенола, аминофенола, хинолина, резорцина, пирогаллола 19); 1-20 г/л соли Fe³⁺ и 1-2 органические кислоты, содержащие до 4 групп N= (CH₂COOH)₂20); аскорбиновая кислота (для раствора FeCl₃ в диметилформамиде, (ДМФА) (ВТ_к =100%)21); шавелевая кислота (для фторборатных ванн)22); ЭДТА и сахарин (в сульфаматную ванну)23); пропиловый, этиловый и метиловый спирт (для сульфатных ванн, смачивают катод и облегчают отрыв от него пузырьков Н₂)24); пиридин, сульфаниловая кислота, мочевина (в сульфатных и фторборатных ваннах укрупняют зернистость осадка) 25); 0,2 г/л натрий сахарина (для сульфаматных ванн) 26); 10 г/л NH₄F₂ (для сульфаматных ванн) 27); 5-80% вес СН₃ОН (увеличивает перенапряжение Н₂) 28); янтарная кислота 0,5-4 г/л (в сульфатную и хлористую ванну)29) 30); 5 г/л нафталиндисульфокислота и 10 г/л пропаргилового спирта 31); 0.2 моль/ л бензол сульфокислота и 0,2 моль/л триэтаноламин (уменьшают наводораживание) 32); 3-6 г/л MoS₂ 33); Na₂SO₄, MgSO₄, Al₂(SO₄)₃ (для сульфатных ванн) 34).

Для снижения окисляемости электролитов и уменьшения числа ионов трехвалентного железа в литературе предлагаются следующие добавки: 0,5-2 г/л аскорбиновой кислоты35); 0,25 г/л ЭДТА или трилон Б (в борфторатный электролит)36); парааминофенол (для хлористых ванн) и сульфат алюминия, лимонная кислота (для сульфатных ванн)37); 5-10 г/л хлористого олова, 5-10 г/л NaF, 1-2 г/л роданистого калия (для хлористых ванн) 38); гуммиарабика, дифениламина, сульфонола, сахарина, b-нафтола (для фторборатных ванн) 39); солянокислый гидрозин (для хлористых ванн) 40); 8-12 г/л (NH₄)₂CO₃, 15-25 г/л KF, 15 г/л NH₄ Cl41); гидразин (для хлористых и сульфатных ванн)42); H₃BO₃ (как буфер) 43); состав для защиты электролитов от окисления из 99-99,5% дибутилфталата и 0,5-1% 5-окси-1,4 - нафтохинона44); диоксибензол 45); триоксиглутаровая кислота, NaF, лимоннокислый натрий (повышают буферные свойства) 46); динидон, гидразин борана, иодиды щелочных металлов (замедляют окисление) 46); 80 г/л Al₂ (SO₄)₃ · 18Н₂О, 75 г/л цитрата натрия, 100 г/л (NH₄)₂SO₄ (или 90 г/л K₂SO₄ · 4 Н₂О и 90 г/л цитратанатрия) (для сульфатных ванн), более устойчивы чем со 100 г/л Al₂(SO₄)₃ · 18H₂O) 47); 0,1-10 г/л оксикарбоновые кислоты, аминокислоты, HCl, HF, о-фенатролин, тиоциановую кислоту 48); аминоуксусную кислоту (глицин) (для сульфатных ванн — 7,5 г/л, для хлористых ванн—2 г/л, стабилизирует золь гидроокиси железа и повышает порог его коагуляции) 49); 0,25-1 г/л продукта конденсации мононафталин-сульфокислоты с формальдегидом (для хлористой ванны, диспергирует Fe (OH)₂)50) 10-15 г/л йодистого калия и 1 мл/л H₂SO₄ (для хлористой ванны)51); лаурилсульфанат натрия 52).

Несмотря на большое число предложенных добавок, значительного улучшения качества осадков они не обеспечивают. Об этом свидетельствуют выводы сделанные Пиявским Р.С., Милковым М.П. и другими исследователями. Но при этом усложняют корректировку и контроль гальванических ванн. Добавки, предохраняющие электролит от окисления, не устраняют полностью накопление трехвалентного железа, а только увеличивают межрегенерационный период. Между тем синтез добавок усложнил бы технологическую схему воспроизводства САС. Поэтому более оправдано применение электролитов без добавок или в крайнем случае, только с простейшими легко получаемыми добавками.

В настоящее время широко применяются на производстве 3 основных типа электролитов железнения: 1) серно-кислотные, 2) хлористые, 3) фторборатные, а так же смешанные на их основе. Кроме того изредка применяются сульфамидные, кремнефтористые, органические и щелочные.

Анализ патентной и технической литературы показывает, что ни один из них явных преимуществ над другими не имеет, поэтому на САС целесообразно применять наиболее простые и доступные электролиты, а именно сернокислые и хлористые (наиболее широко применяющиеся на практике).

Наиболее толстые и пластичные осадки получали в промышленных масштабах из горячего хлористого электролита Фишера-Лангбейна-Пфангаузера. Содержащего 500 г хлористого железа, 100 г хлористого натрия на 1 л воды. В электролизной ванне с керамической (или асбестовой) диафрагмой при t=90 ^о и более, рН= 2,9-3,3 и катодной плотности до 20 а/дм² получали осадки толщиной до 20 мм. В германских патентах (№ 121994 от 1908 г. и № 228.893 от 1909 г.) указывалось, что из этого электролита можно получить качественные осадки любой толщины. Первоначально вместо NaCl применяли CaCl₂, но из-за него осадки сильно ржавели. Ежечасно католит электролизной камеры емкостью 400 л с катодом размером 0,5 х 0,5 м и катодной плотностью тока - 3 а/дм² подкислялась 40-50 см³ раствора из 1 ч 38 %-ной соляной кислоты и 1 ч. Воды (удельный расход 0,33 см³ 38 %-ной соляной кислоты на 1 а-час).53)

Электролит прост по составу, производителен (скорость осаждения до 0,23 мм/час), но высокая температура раствора затрудняет выбор материала для гальванопластической матрицы (формы). Вызывает большое испарение и расход соляной кислоты. Последнее обстоятельство может быть облегчено герметизацией электролизной ванны и отсосом паров соляной кислоты. Первое затруднение преодолеть сложнее. Обычный твердый парафин плавится до 65^о. Поэтому предпочтительнее нахождение холодного электролита, который при комнатной или несколько более высокой температуре будет с приемлемой производительностью осаждать толстые осадки с низкими внутренними напряжениями. В настоящее время предложено достаточно большое количество холодных гальванических ванн в большей или меньшей степени, отвечающих этим требованиям. Результаты анализа автором патентной и технической литературы приведены в таблице № 29.

Составы холодных ванн железнения (до 60⁰) Таблица№29

Концентрация основной соли (г/л)	Добавки	Кислотность (рН)	Темпе- ратура (t0)	Катодная плотность тока (а/дм2)	Приме- чание
	Хлоридные (основная соль —FeCl2· 4H2O)
1) 400-500	200-250 г/л NH4Cl	4,5	15-25	10-15
2) 650	60 г/л MnCl2·4H2O; 0,5 г/л HCl			28-30	про- точный
3) 200-220	15-25 г/л KJ; 0,6-0,8 г/л H2SO4	1,5-1,7 (HCl)	18-20	до 40
4) 50-200	10-80 г/л H3BO3; 16-128 г/л H3PO4	0,1-1,5 (HCl)	30-80	10-40
5) 200-600	20-100 г/л AlCl3	0,5-2,8	20-90	5-60
6) 200-600	20-30 г/л гидразин; 1,5-2 г/л HCl		40-60	30-60
7) 600	100 г/л NaCl, 0,1-4 г/л аскорбиновой к-ты	4 -5	18-20
8) 350-500	3,5-5,0 г/л соляной к-ты		20-35	20-40
9) 350-400	1-4 г/л янтарной к-ты	0,5-1,0	18-35	10-50
10) 200-250	150-270 г/л KCl; 5-20 г/л муравьиной к-ты; 4,5-5 г/л NaF		50-80	10-60
11) 500	1,5-2,0 г/л HCl		30-50	20-40
12) 150-200	200-250 г/л кремнефтористого железа	1-1,25	50-60	20-50	Рж «Химия». 88, 13Л256
	Сернокислые (основная соль — Fe SO4 ·7 H2O
12) 300	7,5-15 г/л глицин; 0,5 г/л щавелевая к-та	2,2-2
13) 280-560	5-150 г/л глицин	1,3-2		10-70
14) 400	150 г/л K2SO4; 10 г/л NaF; 2-4 г/л аскорбиновой к-ты	2,5-3	20-30	12-15
15) 200-250	60 г/л MgSO4 ·7 H2O или 30 г/л NaCl, 20 г/л NaHCO3			0,1
16) 420	100 г/л сернокислый алюминий 3 г/л щавелевой к-ты; 0,1 г/л H2SO4
17) 200-450	10-20 г/л H3BO3; 20 г/л KBF4	1,9-2,4	18-25
18) 202,5	300 г/л (NH4)2 ·Fe(SO4)2·6H2O (соль мора) 105 г/л сернокислый аммоний	3,2-5,0	32-43	2,2-4,3
	Прочие неорганические
кремнефтористая	400-450 г/л Fe...	2-2,2	60-70	15-20
фторборатная:	300 г/л Fe (BF4)2; 18 г/л H3BO3 1-2 г/л HBF	3,2-3,6	20-60	2-12
хлорнокислое железо	250 г/л; хлорная к-та - 2г/л			до 12
	Органические
Фенолсульфо- новая	320г/л Fe(C6H5O4S)2·5H2O	2-4	20-60	5-12
Метил серная	350 г/л Fe (CH3OSO2O)2	1,6-2,2	20-60	10-18
Сульфосалици ловая	520г/л Fe(C2H5O6S)2	2-4	20-60	8-15
Глицератовая	430 г/л Fe(C5H5O4S)2	1,6-2,6	20-60	8-15
Глицеринсуль фатная	600 г/л Fe[(C3H5 (OН)2ОSО3]2	1,6	20-60
Этиленгликоль-сульфатный	550 г/л Fe(C2H4OНОSО3)2	1,6	20-60

Таблица № 30

I) Методы осаждения металлов и других материалов:

1) конденсацией из паров в вакууме (до 1,2 мм/час и более вакуум 10^-4 мм рт. ст.) 54)

2) катодное распыление (0,015 мм/час; t=20⁰ С)

3) газофазная металлизация (путем разложения карбонилов и других летучих химических соединений) (V=1-1,2 мм/час; t= 100-300⁰ С)

4) металлизация распылением расплава (газом, механич. способом)

5) химическое осаждение (@ 0,05 мм/час)55)

6) электрохимическое (гальваническое) (@ 0,25 мм/час; в особых случаях до 4 мм/час)

7) электрофоретический (перемещение частиц в жидкости, газе, вакууме под влиянием электростатического поля) V= до 9 м/час

8) литьевые методы (окунание в расплав, поливом расплава и т.д.)

9) сварочные методы соединения нескольких слоев, изготовленных другими способами

II) Методы формообразования осажденных материалов

1) осаждение по трафарету

2) осаждение по маскирующему слою (матрице, форме)

3) осаждение по фоторезисту

4) прямое управление осаждением с помощью электрических или магнитных полей (через спец. сетку, диафрагму, мембрану и т.д.)

а) селективное осаждение через спец. сетку, диафрагму, мембрану

б) подложка с полупровод. слоем (селен и т.д.) для селективного электрофор осаждения

5) селективное химическое (или электрохимическое) травление осажденного слоя через маску, фоторезист, трафарет.

6) селективное фрезерование осажденного слоя механическим способом

7) селективное удаление части осажденного слоя высокоэнергетическими лучами (лазерным, электронным и т.д.)

III. Методы совмещенного формообразования и металлоосаждения

—ионнолучевое (молекулярнолучевое) осаждение (скалярное, векторное, многлучевое).

Интегральная технология для САС может быть реализована не только с помощью гальваники, но и на основе других способов осаждения железа и прочих металлов. С помощью газофазного или химического осаждения, вакуумного напыления и т.д. могут осаждаться через трафарет, маску, фоторезист (с последующим удалением излишков металла и маскирующего слоя) многослойные структуры сложных изделий и узлов. Некоторое представление о потенциально возможных способах осаждения и формообразования многослойных структур дает таблица №30.

В условиях космоса перспективным может стать вакуумное многослойное осаждение металла, послойное холодное сваривание осажденных структур и другие способы, наиболее соответствующих особенностям этой среды.