В датчиках используются два вида сенсорных модулей на базе емкостной и пьезорезистивной ячеек. Для датчиков перепада и избыточного давлений моделей 3051СD, 3051CG, 3051L используется сенсор на базе емкостной ячейки. Для датчиков абсолютного и избыточного давлений моделей 3051CA, 3051TA, 3051TG - на базе пьезорезистивной. Мембраны, воспринимающие давление измеряемой среды, расположены в одной горизонтальной плоскости, в результате чего ячейка получила название копланарной.
Устройство
1 - капсульная защита, 2 - пластины конденсатора, 3 - сенсорная мембрана 4 – разделительные мембраны,
5 – заполняющая жидкость.