2015-09-06
371
Як було показано раніше, розмір області взаємодії істотно залежить від енергії електронного пучка. Цим має бути викликана й енергетична залежність коефіцієнта відбиття. Але експериментальні результати показують, що коефіцієнт відбиття при Θ ≤ 40° фактично не залежить від енергії пучка, оскільки його зміна становить лише 10% (рис. 1.10).
При збільшенні кута нахилу розмір області взаємодії зменшується. Це пов’язано зі збільшенням імовірності розсіювання електронів за напрямком первинного руху. При великих кутах нахилу електрони у мішені рухаються ближче до поверхні. Це призводить до збільшення ймовірності їх виходу за межу зразка.
Як бачимо з рисунка 1.10, при кутах нахилу до 20-30° зміна h зі збільшенням кута є незначною. При збільшенні
Рисунок 1.10 – Залежність h від Q [2]
кута до 90°, значення h прямує до одиниці. Для нахилених пучків коефіцієнт відбиття описується таким співвідношенням
, (1.14)
де 
.
