Вакуумное конденсационное нанесения покрытий термическим испарением

Методы вакуумного конденсационного нанесения покрытий и плёнок должны обеспечивать:

- получение потока пара достаточной плотности при минимальных энергетических затратах;

- возможность регулирования в широких пределах энергетического состояния конденсирующихся атомов и ионов;

- невысокий уровень конденсированной фазы в паровом потоке;

- проведение процесса с максимальной степенью разрежения при вакуумировании рабочей камеры с целью снижения количества остаточных активных молекул газа и паров воды;

- внутрикамерную очистку и активацию поверхности обрабатываемых изделий;

- регулирование и контроль поверхности конденсации совмещение при необходимости процессов нанесения покрытий с последующей упрочняющей обработкой;

- осуществление реакционных процессов при нанесении покрытий из неметаллических соединений;

- отслеживание толщины покрытий в процессе их нанесения.