Вакуумное конденсационное нанесения покрытий взрывным испарением-распылением материала покрытия

Основное достоинство метода взрывного испарения-распыления состоит в получении потока пара и соответственно конденсата на поверхности изделий, достаточно приближенного по составу к исходному используемому материалу. Избирательное испарение элементов в сплавах или соединениях сводится к минимальным значениям. Первоначально для этих целей использовали подачу испаряемого материала в виде порошка на разогретый до высокой температуры диск. Метод прост в реализации.

Для успешного применения метода необходимо обеспечить:

- условия, при которых скорость подачи порошка равна скорости его испарения;

- регулируемую температуру нагрева;

- надежную, равномерную, регулируемую подачу порошка.

Наибольшее распространение получило взрывное испарение-распыление локальным воздействием на поверхность компактного материала энергетических импульсов. В результате этого в микроучастках создаются условия для высокоскоростного испарения твёрдого материала. При плотности энергии 10⁷-10⁹ Вт/см² на поверхности материала реализуется испарительно-распылительный процесс с образованием потока атомарных частиц. В большинстве случаев продукты распыления изотропно разлетаются в пределах полусферы. Практически всегда процесс испарения-распыления сопровождается образованием мельчайших частиц конденсированной фазы. Твёрдые или жидкие частицы имеют размер от долей микрона до десятков микрон и разлетаются со скоростью 1-10 м/с (часто их называют капельной фазой потока). Уровень современной техники позволяет осуществлять взрывное испарение-распыление с применением различных импульсных источников теплоты, перемещающихся по поверхности испаряемого материала (электронный или лазерный луч, электрические разряды).