2020-04-12
122
| Ионы | Энергия, кэВ | jk, град | ||
| <110> | <111> | <100> | ||
| B | 30 50 | 4,2 3,7 | 3,5 3,2 | 3,3 2,9 |
| P | 30 50 | 5,2 4,5 | 4,3 3,8 | 4,0 3,5 |
| As | 30 50 | 5,9 5,2 | 5,0 4,4 | 4,5 4,0 |
Если падающий пучок ориентирован вдоль кристаллографической оси в пределах угла каналирования, то существенная часть падающих ионов будет направлена по каналам. В противном случае кристаллическая мишень окажется по существу неотличимой от аморфной.
Часть ионов в результате столкновений могут выйти из канала – такие ионы принято называть деканалированными.
Каналированные ионы образуют иногда явно выраженный пик. Качественно теория ЛШШ представляет окончательное распределение ионов в виде суперпозиции двух гауссовых распределений, обладающих двумя максимумами (рис. 8.4).
Рис.8.4. Распределение примеси при каналировании: I – основное распределение; I – деканалированные ионы; III – каналированные ионы
