2020-09-26
58
| ДЕ 1. Общие понятия о микросистемах. | |
| Тема 1. | Общая схема технологического процесса изготовления сенсоров и микросистем. Перспективные технологии их изготовления. Время изучения – 6 часов. |
| Тема 2. | Обзор рынка сенсоров и микросистем, его современное состояние и тенденции развития – 6 часов. |
| ДЕ 2. Проектирование сенсоров, актюаторов и микросистем. | |
| Тема 3. | Метод конечных элементов и его реализация в ANSYS. Время изучения – 4 часа. |
| ДЕ 3. Механические сенсоры, актюаторы и микросистемы. | |
| Тема 4. | Принципы действия и конструктивная реализация пьезоэлектрических сенсоров. Время изучения – 4 часа. |
| Тема 5. | Звуковые волны, их характеристики. Акустические сенсоры (микрофоны), их конструктивные особенности и характеристики. Время изучения – 6 часов. |
| ДЕ 4. Термические сенсоры, актюаторы и микросистемы. | |
| Тема 6. | Терморезисторы. Термисторы. Диоды и транзисторы как термические сенсоры. Холодильники Джоуля – Томсона. Эффект Пельтье и приборы на его основе. Время изучения – 6 часов. |
| ДЕ 5. Оптические сенсоры, актюаторы и микросистемы. | |
| Тема 7. | Принцип работы светодиодов. Кремниевые и органические светодиоды. Твердотельные лазеры. Торсионные микрозеркала: принцип работы и конструкция. Другие виды оптических ключей. Время изучения – 6 часов. |
| ДЕ 6. Магнитные сенсоры, актюаторы и микросистемы. | |
| Тема 8. | Сверхпроводимость и сверхпроводники. Сверхпроводящие квантовые интерферометры (СКВИДы). Время изучения – 4 часа. |
| ДЕ 7. Химические сенсоры, актюаторы и микросистемы. | |
| Тема 9. | Тензорезистивные сенсоры кислотности и относительной влажности. Гигрометры на основе измерения импеданса. Ёмкостные гигрометры, их характеристики. Градуировка сенсоров влажности. Время изучения – 4 часа. |
| Всего часов на изучение – 46. Часов на самостоятельную работу по подготовке к диф. зачету – 17. | |
