Билет 10

Билет 9

Билет 8

Билет 7

Билет 6

Билет 3

Билет 2

МИКРОСХЕМЫ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ

Редактор В. С. Темкин

Редактор издательства Т. В, Жукова

Художественный редактор Н. С. Шеин

Технический редактор Т. Н. Зыкина

Корректор И. Г. Зыкова

ИБ №861

Сдано в набор 29.06.83 Подписано в печать 23.09.83 Т-18о8)

Формат 84X108 1/32 Бумага типографская № 2 Гарнитура литературная

Печать высокая Усл. печ. л. 14,28 Усл. кр.-отт. 14,28 Уч.-изд. 18,7

Тираж 200 000 экз. (2 завод: 50001 — 100000 экз.) Изд. л» 19475 Зак. N 3197

Цена 1 р. 70 к.

Издательство «Радио и связь». 101000 Москва, Почтамт, а/я 693

Ордена Октябрьской Революции и ордена Трудового Красного Знамени Первая Образцовая типография имени А. А. Жданова Союзполиграфпрома при Государственном комитете СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли, Москва, М-54, Валовая, 28.

Откачное оборудование для низкого и высокого вакуума (механические и паромасляные вакуумные насосы), блочная схема вакуумных установок.

Принцип действия метода импульсно-плазменного напыления, особенности метода, сепарация плазменного потока, физические принципы образования плазмы в отсутствие плазмообразующего газа.

Откачное оборудование для получения сверхвысокого вакуума (физические принципы, положенные в основу работы турбомолекулярных, магниторазрядных, криогенных и сорбционных насосов).

Лазерное осаждение тонких пленок, конструкции лазерных испарителей.

Билет 4

Генерация лазерного излучения, основные физические свойства лазерного излучения.

Получение пленок термическим испарением, резистивный способ изготовления пленочных образцов, конструкции и материалы для испарителей.

Билет 5

Режим свободной генерации и режим модуляции добротности.

Ионно-лучевое распыление материалов, ионное травление, устройства для формирования ионных пучков.

Классификация лазерных излучателей, твердотельные лазеры.

Метод электронно-лучевого напыления тонких пленок (особенности, достоинства и недостатки).

Газовые и полупроводниковые лазеры, использование в технологических процессах.

Метод высокочастотного распыления диэлектриков.

Принципы построения лазерных технологических установок; классификация оптических систем лазерных технологических установок.

Магнетронное распыление. Достоинства, недостатки.

Принцип действия метода импульсно-плазменного напыления, особенности метода, сепарация плазменного потока, физические принципы образования плазмы в отсутствие плазмообразующего газа.

Достоинства методов ионно-плазменного распыления. Трехэлектродная система распыления.

Приборы для измерения степени вакуума, датчики вакуумметров.

Физические явления, лежащие в основе методов ионно-плазменного распыления. Плазма. Основные понятия, характеризующие плазму как особое состояние материи. Диодное распыление.