Реферат. Отчет о НИР: 379 С. , 5 рис. , 2 табл. , 2 приложения, 18 источников

Отчет о НИР: 379 с., 5 рис., 2 табл., 2 приложения, 18 источников.

Объект исследования - пластины кремния, на которых изготов­лены фотопреобразователи.

Цель работы - определение влияния структурных дефектов в кремнии на электрические характеристики фото-преобразователей и поиск оптимальной методики исследования р-п переходов.

Метод исследования - статистический анализ электрических ха­рактеристик.

Дефекты, наиболее сильно ухудшающие к.п.д. фотопреобразователей, следующие: включения второй фазы, дефекты упаковки, дис­локации с плотностью, превышающей 1,5·10^-4 г/см³. Установлено, что пластины фотопреобразователей с высоким значением к.п.д. имеют хорошую структуру: показано, что примесные облака и преципитаты не оказывают такого вредного влияния на электрические свойства фотопреобразователей; установлено, что выделения второй фазы, де­фекты упаковки, сильное загрязнение кремниевых пластин неконтро­лируемыми примесями ухудшают электрические характеристики фо­топреобразователей; показано, что визуализация р-п переходов может быть осуществлена в режиме вторичной электронной эмиссии; пред­ложена оптимальная методика использования растрового электронного микроскопа для визуализации р-п перехода, его профиля, структурных дефектов.

Результаты НИР внедрены в технологии производства кремниевых пластин, используемых в солнечных батареях.

КРЕМНИЙ, ПЛАСТИНЫ, ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ, ДЕФЕК­ТЫ, ВИЗУАЛИЗАЦИЯ р-п ПЕРЕХОДА.

Условия получения отчета: по договору. 252171, Киев-171, ул. Горького, 180, УкрИНТЭИ.

Б.2 Реферат к отчету по УИРС