Приборы с полупроводниковыми тензопреобразователями

Проволочные тензопреобразователи – имеют низкую чувствительность. Чувствительность лучше у полупроводниковых преобразователей (в 60 раз и выше). Однако полупроводниковые тензопреобразователи имеют высокую температурную погрешность. Для снижения температурной погрешности в качестве полупроводниковых тензопреобразователей применяется преобразователи выполненные на основе монокристаллов кремния и германия. В качестве чувствительного элемента, на который прикрепляют полупроводниковый преобразователь. Применяются также монокристаллы сапфира, которые имеют также высокую температурную стабильность.

На этой основе выполнен Сапфир 22, которые применяются на АЭС с ВВЭР-1000.

Корпус сделан из титана, на конце содержит тонкую мембрану, к мембране жестким припоем прикреплена сапфировая пластинка с определенной кристаллографической ориентацией, а на пластинку нанесен тонкий слой, до 1 мкм, монокристаллическая пленка кремния. Внутренняя полость заполнена кремнеорганической жидкостью и отделена от от рабочей жидкости мембраной.