2015-05-13
957
Высокоомная эпитаксиальная плёнка,
Слой металла
Рисунок 2.9 - Принцип устройства диода Шотки
Затем пластинка срезается на отдельные части – диоды. Особенностью мезадиодов является уменьшенный объём базовой области. За счёт этого сокращается время накопления и рассасывания носителей в базе. Одновременное изготовление большого числа диодов из одной пластинки обеспечивает также сравнительно малый разброс их характеристик и параметров.
Слой с электропроводностью n-типа, полученный диффузией
Вывод от n-области
Участок, удаляемый травлением
Основная пластинка полупроводника p-типа
Рисунок 2.10 - Принцип устройства мезадиода
Слой n-типа можно получить не только методом диффузии, но и сплавным методом (мезасплавные диоды). Для создания мезадиодов используется планарная технология (меза-планарные диоды) и эпитаксиальная технология (меза-эпитаксиальные диоды).
