Измерение шероховатости микроскопом МИС-11

Микроскоп МИС-11 относится к неконтактным профилометрам, в которых на деталь проецируется изображение щели одним микроскопом, а наблюдение ведется во второй микроскоп. Это поясняется рисунком 4.

Изображение щели Реальное изображение

на идеальной поверхности

Рис. 4

Если на поверхности появляется ступенька (рис.5), то при наклонном освещении будет наблюдаться картина, изображенная на рис.5

Рис. 5

Когда наблюдается шероховатая поверхность, имеющая большое количество хаотически расположенных ступенек, то резкий край изображения размывается. Величину этого размытия измеряют, наводя измерительный окуляр-микрометр последовательно то на верхний, то на нижний край размытия. Схема показана на рис.6.

Измерения можно проводить по любому резкому краю изображения.

Для измерения шероховатости микроскопом необходимо:

1. Сфокусировать изображение на поверхности объекта.

2. Навести окуляр-микрометр на верхний край размытого изображения. Снять отсчет по барабану измерительного микроскопа Х₁.

3. Навести окуляр-микрометр на нижний край размытого изображения. Снять отсчет по барабану измерительного микроскопа Х₂.

4. Найти значение разности Х₂ - Х₁ пропорциональное h.

5. Вычислить h по формуле: h = Х₂ - Х₁.

6. Операции 2-5 повторить 5 раз.

7. Все результаты вычислений и измерений занести в таблицу по форме таблицы 2.

8. Вычислить параметр шероховатости R_z по формуле:

9. Найти параметр шероховатости R_a как R_a = R_z/4;

10. Найти класс чистоты обработки поверхности по таблице 1 или по таблице 3.

Таблица 2