енергіями................................................................... 81
9 Якість зображення........................................................... 82
10 Методи оброблення сигналу......................................... 86
Список літератури до розділу 2.......................................... 90
Розділ 3 Конструкція та принцип роботи просвічуючого електронного мікроскопа 91
1 Створення просвічуючого електронного мікроскопа. 91
2 Ідеальне, або гаусівське, зображення............................ 93
3 Дифракційний принцип формування зображення...... 99
4 Конструкція ПЕМ......................................................... 103
5 Якість зображення......................................................... 113
6 Калібрування ПЕМ....................................................... 124
7 Режими роботи ПЕМ.................................................... 129
Задачі до розділу 3.............................................................. 139
Список літератури до розділу 3........................................ 141
Розділ 4 Характеристика інших типів електронних
мікроскопів...................................................... 142
1 Електронний мікроскоп із магнітостатичними лінзами............ 142
Просвічуючий електронний мікроскоп з електроста-
тичними лінзами........................................................... 143
Відбиваючий та тіньовий електронні мікроскопи.... 146
4 Емісійні мікроскопи...................................................... 147
5 Надвисоковольтний електронний мікроскоп............ 150
6 Скануючий тунельний мікроскоп............................... 151
7 Скануючий атомно-силовий мікроскоп..................... 156
Список літератури до розділу 4........................................ 159
Розділ 5 Підготовка зразка для електронно-мікро-
скопічних досліджень...................................... 160
1 Опорні сітки та плівки-підкладки............................... 160
2 Метод реплік та відтінень............................................ 162
3 Робота з біологічними об’єктами................................ 164
Виготовлення тонких зрізів за допомогою ультра-
мікротома....................................................................... 166
Приготування кристалічних об’єктів для дослід-
ження на просвіт........................................................... 168
6 Особливості підготовки зразків для РЕМ.................. 171
Список літератури до розділу 5........................................ 175
Частина 2 Використання електронно-променевих і спектральних приладів та методів дослідження плівкових матеріалів.......... 176
Передмова........................................................................... 176
Розділ 6 Електронно-мікроскопічні та дифракційні
методи досліджень........................................... 178
Вступ................................................................................... 178