Режими роботи, типи та основні характеристики ПЕМ 180

2 Формування зображення в ПЕМ. Типи мікроскопіч-

них контрастів............................................................... 181

2.1 Тіньовий контраст................................................... 182

2.2 Дифракційний контраст......................................... 183

2.3 Амплітудний і фазовий контрасти........................ 192

3 Основи растрової електронної мікроскопії................. 193

3.1 Будова і принцип роботи, основні характеристики деяких РЕМ 193

3.2 Типи контрастів у РЕМ.......................................... 195

3.3 Режими роботи РЕМ............................................... 199

4 Використання методів ПЕМ і РЕМ для дослідження кристалічної мікроструктури тонких плівок і покриттів 201

5 Теоретичні та експериментальні основи електронографії.. 202

5.1 Будова, загальна характеристика і принцип роботи

електронографа....................................................... 202

5.2 Основи електронографії........................................ 205

5.3 Уявлення про дифракцію повільних електронів 214

6 Основи рентгеноструктурного аналізу....................... 215

6.1 Конструкція і принцип роботи рентгенівського

дифрактометра....................................................... 215

6.2 Основи рентгенографії........................................... 217

7 Задачі до розділу 6........................................................... 220

Список літератури до розділу 6........................................ 222

Розділ 7 Спектральні методи дослідження.................. 224

Вступ................................................................................... 224

1 Основи кількісного і якісного рентгенівського мікроаналізу (РМА) 225

1.1 Фізичні основи РМА............................................... 225

1.2 Якісний РМА........................................................... 229

1.3 Кількісний РМА...................................................... 232

1.3.1 Метод трьох поправок.................................. 232

1.3.2 Емпіричний метод, або метод
а-коефіцієнтів................................................ 238

1.3.3 Метод РМА тонких плівок і малих частинок. 239

2 Основи оже-електронної спектроскопії..................... 246

2.1 Фізичні основи ОЕС.............................................. 246

2.2 Кількісний аналіз методом ОЕС........................... 253

3 Основи вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС). 255

3.1 Загальна характеристика вторинно-іонного

мас-спектрометра................................................... 255

3.2 Методика аналізу спектра ВІМС.......................... 257

4 Задачі до розділу 7....................................................... 262

5 Список літератури до розділу 7.................................. 263