Излучение гетеролазеров испытывает меньшую дисперсию и поэтому более эффективно может быть согласовано с волоконными световодами. Для оптической связи наиболее подходящим является симметричный двойной гетеропереход с полосковым контактом или гетероструктура с раздельными оптическим и электронным ограничениями (рис. 4).
В гетероструктурах с раздельными оптическим и электронным ограничениями излучение распространяется в слоях х х х х, а носители рекомбинируют в более тонком слое х х.
Для использования в системах оптической связи к лазерному источнику света предъявляют следующие основные требования: непрерывный или квазинепрервный режим работы при температуре
Рис. 4. Схема лазерной гетероструктуры с раздельным
электронным и оптическим отражением
не ниже комнатной; стабильная одномодовая генерация; низкий пороговый ток; линейная зависимость выходной мощности от тока, малая изучающая площадь, позволяющая получить высокий коэффициент связи с волокном; высокая кратковременная и долговременная стабильность мощности излучения, высокая монохроматичность, высокая яркость излучения и высокий срок службы (порядка 10 ч или 12 лет).
Гетеролазеры, используемые в оптической связи, относятся к полосковым лазерам. Полосковый лазер - это полупроволниковый лазер, в котором активная область (область генерации) выполнена в виде полоски
В гомолазерах возможна перестройка спектра к генерация в широком диапазоне спектра за счет выбора компонентов р-n-перехода. Но активная область гомолазера неоднородна, имеет градиенты концентраций электронов н дырок и характеризуется зависимостью коэффициента усиления от координаты. Из-за неоднородности активная
7
область гомолазера может уменьшиться до очень малых размеров, что приведет к срыву генерации. В полосковых гетеролазерах активный слой более однороден, требуется меньшая мощность для генерации излучения и можно реализовать одномодовый режим генерации. Для обеспечения устойчивой олномодовой генерации разработаны различные конструкции полосковых лазеров.
В полосковых лазерах при усилении тока возможно его растекание за пределы активной области, расположенной под полосковым контактом. Это вызывает генерацию поперечных мод, которые могут привести к срыву генерации. Для подавления паразитных поперечных мод проводят целенаправленное изменение показателя преломления в направлении, параллельном плоскости перехода, в результате чего образуется лазерный диэлектричсскнй волновод. Такие гетеролазеры называют лазерами с управляемым коэффициентом преломления или канальными. Существуют различные конструкции таких лазеров (рис 5). Значительно более сильная боковая локализация оптического излучения обеспечивается в конструкциях, которые называют скрытыми гетероструктурами (рис 5 а).
Рис. 5. Структура полосковых лазеров с селекцией поперечных мод:
а - лазер со скрытой гетероструктурой; 6 - лазер с поперечным p-n--переходом;
в - планарный полосковый лазер с канализированной подложкой;
г - гетеролазер с расширенным волноводом
Полосковые гетеролазеры изготавливают на основе гетероструктуры GaAIAs/GaAs (излучают в области 780...900 нм) и GalnAsP/InP (излучают в области от 1300 до 1670 нм).
Гетеролазеры с управляемым коэффициентом преломления изготавливают следующими способами: легированием, частичным утолщением слоев; поглощением света, выходящего из активного слоя другими слоями; размещением диэлектрического волновода в полупроводнике с более низким показателем преломления.
Первый способ реализуют диффузией цинка с поверхности в глубь структуры (ниже
8
активного слоя) в полосковом лазере с поперечным р-л-переходом (рис. 5б ). Так как инжекция носителей в р-п- переход на арсениде галлия возникает при более низком напряжении по сравнению с р-п-переходом в слое покрытия из GaAlAs, то ток будет втекать в активную область из GaAs (показано стрелкой). С помощью двойной гетероструктуры и p-n--перехода свет будет удерживаться в области размером 1x3 мкм2. Пороговое значение тока составляет примерно 20 мА.
При втором способе выращивают активный слой на подложке с предварительно вытравленной канавкой (каналом), на которую нанесен слой покрытия с малой толщиной вне канавки (рис. 5 в). Так как подложка из GaAs непрозрачна для генерируемых длин волн света, то вне канала имеет место сильное поглощение света и возникает разность потерь света, что позволяет формировать одну устойчивую поперечную моду. Лазер такой конструкции называют пленарным полосковым лазером с канализированной подложкой. Пороговое значение тока лазера равно 60...80 мА.
Третьим способом изготовляется плосковыпуклый гетеролазер плоским активным слоем (гетеролазер с расширенным волноводом), но со ступенчатым или линзообразным изменением толщины соседних световодных слоев. Как и во втором способе, в подложке делают углубление и выращивают слой, утолщенный полосой посередине, который и поглощает свет, вышедший за пределы световодной области (рис. 45).
Четвертый способ реализуется в лазерах со скрытой гетероструктурой, в которых активную область в виде полоски 1...3 мкм со всех сторон окружают материалом с большой шириной запрещенной зоны (рис. 5 а). В подложке мезатравлением делают выступ, а затем выращивают слой структуры. В результате разности в коэффициентах преломления активной области и слоя покрытия образуется световод. Полученный гетеробарьер удерживает инжектированные носители заряда (не происходит их растекания в поперечном направлении). Пороговое значение тока для таких лазеров составляет обычно 10... 30 мА
Конструкции лазеров (рис. 4а, б, г) не зависят от материала. Однако конструкция, приведенная на рис. 4в, принципиально должна иметь подложку, изготовленную из полупроводникового материала, поглощающего лазерное излучение. Кроме того в пленарном полосковом лазере с канализированной подложкой и плосковыпуклом лазере можно существенно уменьшить распространение излучения в поперечном горизонтальном направлении, что по сравнению с лазерами со скрытой гетероструктурой позволяет увеличить ширину полоски до 5000...8000 нм и увеличить мощность излучения лазера до 10 мВт без сокращения его срока службы.
Спектр генерации GaAlAs-лазера с управляемым коэффициентом преломления (рис. 6) зависит от излучаемой оптической мощности. В окрестности порога имеются многочисленные продольные моды, но при оптической мощности свыше 1...2 мВт возрастает интенсивность только одной продольной моды и на ней возникает генерация, т.е. происходит сужение спектра генерации. При высоком уровне инжекции отношение интенсивностей света моды генерации и соседней моды достигает уровня 103, т.е. резко возрастает монохроматичность оптического излучения.
При росте тока инжекции происходит перескок моды генерации на продольную моду с большей длиной волны. Это связано с повышением температуры активного слоя при увеличении тока инжекции, что приводит к сдвигу спектра усиления в длинноволновую область на несколько десятых долей нанометра. Усредненное изменение длины волны для GaAlAs-лазеров составляет 0,3 нм/°С, а для lnGaAsP-лазеров — 0,4...0,5 нм/°С Увеличение длины волны лазерной генерации происходит и в отсутствие перескока моды из-за температурной зависимости показателя преломления и составляет приблизительно 0,1 нм/°С.
Толщина активного слоя в лазерах на двойной гетероструктуре всегда менее одного микрометра. В результате в активном слое может возбуждаться только низшая поперечная
9
пересекающая мода. Число поперечных боковых мод зависит от ширины резонатора, но ширина полоски также важна. В гетеролазерах со скрытым гетеропереходом боковое ограничение излучения значительно больше, чем в лазерах других конструкций.
Рис.6. Спектр генерации GaAlAs-гетеролазера с управляемым коэффициентом
преломления при различных токах накачки
В полосковых гетеролазерах с шириной полоски более 20 мкм наблюдают резкий переход через лазерный порог, после чего возбуждаются моды высокого порядка. С ростом уровня инжекцнн выходная мощность лазера растет линейно, пока разогрев активного элемента не приведет к некоторому насыщению выходной мощности. Но в целом процесс гораздо сложнее: происходит распределение усиления, способствующее возникновению самофокусировки излучения и формированию шнуров внутри лазерного резонатора. При уменьшении ширины полоски до 20 мкм и менее возрастают потери для мод высоких порядков. Тогда сразу за порогом генерации появляется только основная поперечная боковая мода. При дальнейшем увеличении тока накачки появляются боковые поперечные моды высоких порядков по мере достижения их порога возбуждения. Уменьшение ширины полоски до 10 мкм и менее приводит к увеличению порога возбуждения мод высоких порядков до уровней, превышающих возможности лазера. Наличие боковых поперечных мод оказывает влияние на пространственное распределение интенсивности лазерного излучения и на ширину его спектра.
В ближнем поле излучения лазера при уширении полоски наблюдается тенденция к образованию шнуров (рис. 7). В дальнем поле при возбуждении только низшей поперечной пересекающей моды в направлении, перпендикулярном плоскости перехода, наблюдается единственный максимум. Угловая расходимость излучения зависит от толщины активного слоя и скачка коэффициента преломления в гетероструктуре. На рис. 7. показана зависимость угла расходимости 0х от толодины активного слоя для разных
10
значений относительной разности коэффициентов преломления Л. При существенном уменьшении толгщшы активного слоя поперечные моды проникают в слои покрытия активной области, что приводит к увеличению лазерного пятна (см. рис. 7) на выходном торце лазерного диода, Поэтому с уменьшением толщины активного слоя будет уменьшаться угол расходимости. При Д = 8,7 % и d = 50 нм угол 0i равен 30°. При угле 0 L = 30° толщина активного слоя с уменьшением относительной разности коэффициентов преломления будет возрастать. Если в гетеролазере со скрытой гетероструктурой 0~30°, то оказывается возможным получить дальнее поле в виде круга.
Применяемые в настоящее время полосковые гетеролазеры с управляемым коэффициентом преломления могут работать как в непрерывном, так и в импульсном режимах.
Рис. 7. Распределение интенсивности излучения GaAlAs-гетеролазера в ближней и
дальней зонах при разной ширине полоски
Если лазерный диод на основе GaAlAs излучает в непрерывном режиме мощность свыше 6...9 мВт на квадратный микрометр излучающей поверхности, то плотность энергии внутри активного элемента такова, что на частично отражающих гранях диода начинаются химические реакции. Зеркальные грани постепенно тускнеют в результате образования аморфного оксида. По истечении определенного времени работа лазерного диода ухудшается и он выходит из строя. При плотности 20...25 мВт на квадратный микрометр поглощение излучения на гранях скола приводит к возникновению процесса термического испарения. Поверхность при этом нагревается до 1500 К, начинается
11
плавление полупроводникового материала и лазерный диод вьгходит из строя. Пределы на максимальную выходную мощность лазерных диодов с катастрофической деградацией зеркал могут быть смягчены одним из трех способов:
1) увеличением размера лазерного пятна с целью увеличения размеров поверхности, подвергающейся воздействию излучения. Это позволяет увеличить мощность излучения до наступления деградации;
2) покрытием грани лазерного диода материалом с низким коэффициентом отражения для увеличения отношения пропускаемой мощности к падающей и, следовательно, к увеличению отношения излучаемой мощности к мощности внутри резонатора;
3) предотвращением поглощения лазерного излучения зеркалами, что позволяет не допустить деградации при высоких мощностях излучения.
Рис.7. Результаты расчета угла расходимости 0 выходного пучка гетеролазера по уровню половинной мощности (кружками отмечены экспериментальные значения 0) при =1,31 мкм; -отношение толщины активного слоя к длине волны
Для увеличения размера лазерного пятна в активном элементе изготавливается большая оптическая полость в виде светопгюводящего слоя, расположенного непосредственно под активным слоем. Основная часть светового потока распространяется по оптической полости, в то время как излучение подводится из активного слоя, расположенного выше. Большинство лазерных диодов с управляемым коэффициентом преломления имеют лазерное пятно размерами 3 мкм в ширину и 0,6 мкм в высоту, что существенно больше размеров толщины активного слоя, поскольку примерно 50 % излучения проходит в покрывающих слоях. Такие лазеры могут надежно работать только при мощностях, не повышающих 3...5 мВт. Описанным выше способом поперечнный размер может быть увеличен до 1,5 мкм, а ширина до 6 мкм. Увеличение размера лазерного пятна приводит к уменьшению расходимости лазерного луча. Так, лазер на основе GaAlAs при размерах пятна 3 мкм в ширину и 0,6 мкм в высоту дает эллиптический луч с расхождением = 12° и 0Х = 45°, в то время как лазерные структуры с увеличенным размером лазерного пятна дают более узкие лучи:
12
Наиболее перспективные мощные одномодовые лазеры на основе GaAlAs, работающие при длинах волны менее 900 нм, делятся на три основных типа: структуры с большим оптическим резонатором, структуры с тонким активным слоем и структуры с непоглощающими зеркалами.
Рис. 8. Ватт-амперные характеристики Ga А1 As-гетеролазеров:
1 - лазеры с большим оптическим резонатором;
2 - лазеры с тонким активным слоем;
3 - лазеры с зеркалами
Основной характеристикой, определяющей эффективность лазерного диода, является ватт-амперная характеристика (рис. 8). Большинство мощных лазеров на основе GaAlAs достигают порога генерации при токе смещения 50... 100 мА, причем выходная оптическая мощность лазера увеличивается до тех пор, пока не начинается разрушение излучающей грани. В общем случае наиболее эффективными являются лазеры с большим оптическим резонатором (рис. 8, кривые 1) по сравнению с лазерами с тонким активным слоем (рис. 8, кривые 2). Наивысшая эффективность преобразования электрической энергии в световую для этих лазеров составляет 35 %, а при наличии антиотражающего покрытия на передней грани их эффективность возрастает на 50...70 %. Лазеры с непоглощающими зеркалами менее разработаны из-за технологических сложностей их изготовления (рис. 8, кривые 3).
В лабораторных условиях достигнута мощность излучения свыше 100 мВт в непрерывном режиме работы. Но стабильно работают мощные лазерные диоды в течение 10000 ч при уровне мощности от 15 до 30 мВт. Этот уровень мощности ограничен главным образом тепловыми эффектами.
Дальнейшее улучшение характера распределения линий тока под контактом, улучшение качества материалов и теплового режима работы лазера позволит достичь надежного уровня мощности в непрерывном режиме до 30...40 мВт в промышленных лазерных структурах. Использование антиотражательных покрытий позволит еще поднять мощность до 50...60 мВт.
Важным применением лазеров на основе GaAlAs с высокой мощностью являются волоконно-оптические распределительные системы связи, например, системы распределения данных в компьютерных сетях, цифровые телевизионные сети. В таких системах мощные лазеры могут распределять информацию на количество терминалов, в десять раз превышающее возможности имеющихся в настоящее время локальных сетей.
Наиболее важное применение мощные лазеры в настоящее время нашли в оптических записывающих системах, которые обещают оказать сильную конкуренцию магнитным лентам и дискам в записи и хранении информации в связи с их большей емкостью.
13
Скорость записи данных достигает рекордных величин и составляет 60 мегабайт в секунду- Мощные лазерные диоды на основе GaAlAs могут существенно снизить стоимость и размеры быстродействующих лазерных принтеров. Для этих целей использовали гелий-неоновые газовые лазеры, которые являются громоздкими и имеют коэффициент преобразования мощности ниже 0,1 %. Лазерные диоды компактные и имеют величину коэффициента преобразования мощности от 10 до 20 %, т.е. лишь 5-10 электронов требуется в лазерном диоде для генерации одного фотона.
Внутренние ограничения на максимальную оптическую мощность лазерных диодов можно снять путем создания многоэлементных фазированных инжекционных лазеров или фазированных лазерных решеток. В пределах единой гетероструктуры интегрируется несколько десятков полосковых лазеров, потоки которых взаимодействуют между собой, что приводит к когерентному сложению их мощностей и все лазеры ведут себя как единый источник света с большой мощностью. Одновременно уменьшается угол расходимости излучения в плоскости гетероперехода. Например, линейная фазированная решетка из 10 элементов с промежутками 5 мкм при длине излучения 850 нм может излучать мощность до 500 мВт при ширине пучка в 1°.
Надежные лазерные диоды могут революционизировать космическую связь — передачу информации между спутниками. Эти лазеры компактнее, эффективнее и дают более коллимированные и менее дисперсионные пучки, чем микроволновые источники. Кроме того, при использовании техники деления длины волны можно передавать по одному каналу связи сигналы на разных длинах волн, что позволит существенно увеличить скорость передачи информации по сравнению с микроволновыми источниками.