Пирамидальные и призменные дефлекторы

Конструкция сборного призменного дефлектора представле­на на рис. 11.3. Дефлектор выполнен в виде вала 1, установлен­ного в опорах, в качестве которых использованы шариковые подшипники, имеющие биение внутреннего кольца относительно наружного не более 1 мкм. Подшипники 2 размещены в кор­пусе 3. На верхнем конце вала 1 укреплен шестигранный венец 4 с установленными на его боковых гранях разрезными опора­ми 5. Каждая из опор снабжена винтами б, предназначенными для поворота и фиксации наружной плоскости опор относитель­но горизонтальных осей при регулировке дефлектора. К наруж­ным плоскостям опор с помощью клея крепятся зеркала 7. Вра­щение дефлектора осуществляется от электродвигателя через шкив 8, установленный на валу 1, и ремень с круглым сечением.

Рис. 11.3. Конструкция сборного призменного дефлектора.

Сборные дефлекторы сложны в юстировке. Так, например, сборный пирамидальный пятигранный дефлектор лазерного фотонаборного автомата «Лазеркомп» должен быть отрегулиро­ван с точностью, обеспечивающей разброс в угле наклона зер­кальных граней не более 0,2", Конструкция этого дефлектора представлена на рис. 11.4. Грани 9 имеют отражающее алюми­ниевое покрытие, которое нанесено вакуумным напылением в камере. Толщина покрытия является очень критичной: если оно слишком тонкое, то воз­можно появление точечных отверстий в нем; если же оно слишком толстое, то бу­дут потери в отражающей способности.

Основания граней прити­раются, чтобы обеспечить высокую степень плоско­стности. Стопорные винты 10 вставляются на точную глубину по периферии плат­формы многогранника - по два на каждой грани. Затем грани устанавливаются на ю платформе таким образом, чтобы основание их разме­щалось на шлифовальных подушках 5 и 11, которые об­разуют часть детали плат­формы. Наружный край гра­ней располагается под голов­ками стопорных винтов 10. В центральной зажимающей втулке на основании граней расположено неопреновое кольцо 4. Стальная муфта и гайка 3 затягиваются вниз на неопреновое кольцо, заставляя его расширяться на основа­нии грани до тех пор, пока оно не будет остановлено стопорным винтом 10. Таким образом достигается надежная и точная уста­новка каждой грани.

Рис. 11.4. Конструкция сборного пирамидального дефлектора.

Неопреновая шайба 2, прикрепленная к стальной шайбе 8, помещается над зажимающей втулкой таким образом, чтобы шайбы располагались на верхней поверхности граней. Зажима­ющая гайка I затягивается вниз, для того чтобы обеспечить надежную установку граней на шлифовальные подушки 5 и 11. Теперь грани прочно закреплены на опорной платформе. Затем узел многогранника динамически сбалансируется за счет встав­ки комплекта винтов М4 в отверстия с внутренней резьбой сни­зу платформы 7. Высокоточные подшипники устанавливаются на полый вал дефлектора и прирабатываются на частоте вра­щения 3000 об/мин в течение 40 ч.

Винтовые домкраты 6 платформы затем регулируются таким образом, чтобы угол наклона граней установился 45° с точнос­тью ±0,2". Малейшее движение грани заглушается неопреновым кольцом и шайбой.

Все подшипники в узле дефлектора набиты специальной смаз­кой, срок службы которой превышает срок службы дефлектора, по­этому в дальнейшем ни одна из его частей не нуждается в смазке.

Единственной возможной настройкой при обслуживании яв­ляется перемещение винтовых домкратов 6 платформы. Все дру­гие винты и гайки дефлектора не требуют обслуживания, а под­шипники могут быть заменены только на заводе-изготовителе.

Одним из эффективных решений повышения точности запи­си изображения является применение в качестве одногранного вращающегося зеркала пентапризмы 1 (рис. 11.5), установлен­ной непосредственно на валу электродвигателя 2. Оптическая особенность пентапризмы заключается в том, что угол между вхо­дящим и выходящим лучами всегда составляет 90°, независимо от того, как точно расположены входная и выходная грани. Это позволяет существенно снизить требования к точности установ­ки вращающейся пентапризмы на валу электродвигателя.

Рис. 11.5. Дефлектор в виде вращающейся пентапризмы при неточной (а) и точной (б) установке на валу электродвигателя.