Расчет размеров металлизации контактных окон

Рис. 10.3. Металлизация контактных окон

Минимальный размер металлизации должен обеспечить пререкрытие всего контактного окна:

мкм – некоторый запас (под крылышками металлизации), а слагаемое учитывает наклон стенок окисла равный 45° (т.к. при получении окон под металлизацию желательно использовать жидкостное травление). Тогда номинальный размер металлизации рассчитывается по аналогии с предыдущими выкладками:

Максимальный размер металлизации:

Размер на фотошаблоне должен обеспечить номинал в при занижении размера относительно ФШ, поэтому:

мкм.

Здесь предположим, что травление ионное или плазмохимическое.