Эффект поля

Поверхностные явления.

Кри­сталлы современных Полупроводниковые приборов и интегральных микросхем характеризуются очень малыми размерами областей от поверхности кристалла (единицы и доли мкм), в которых происходит преобразование электрических сигналов.

Физические процессы на поверхности полупроводника в большой степени определяют электрические характери­стики и параметры полупроводниковых приборов и интег­ральных микросхем.

В полевых транзисторах, важней­шие физические процессы, определяющие их принцип дей­ствия, протекают непосредст­венно в приповерхностном слое.

Рассмотрим следующие физические процессы:

- поверхностный заряд;

- эффект поля.

Поверхностный заряд.

Явления, способствующие возникновению поверхностного заряда.

Структура поверхности полупро­водников характеризуется большим числом различных де­фектов. Атомы полупроводника на поверхности имеют свободные химиче­ски активные валентные связи и при воздействии атмосфе­ры вступают в реакцию с кислородом и парами воды, обра­зуя различные оксиды и гидраты.

Сама грани­ца раздела является нарушением пространственной перио­дичности кристаллической решетки, т. е. представляет собой дефект.

В результате на зонной диаграмме для приповерхностного слоя п/п появля­ются энергетические уровни, расположенные в запрещен­ной зоне.

Состояния, соответствующие этим уровням, пред­ставляют собой так называемые поверхностные ловушки.

Захватывая под­вижные носители, они могут превращаться в положительные или отрицательные ионы, образуя поверхностный заряд.

В п/п прибо­рах на их поверхность наносятся тонкие диэлектрические пленки, производится специальная терми­ческая обработка с целью улучшения и стабилизации па­раметров приборов, а также защиты поверхности.

Напри­мер, в кремниевых и некоторых арсенид-галлиевых планарных приборах и интегральных микросхемах поверхность покрыта слоем оксида (Si0₂) толщиной в десятые доли микрона.

В пленке SiO₂ вблизи границы раздела с крем­нием возникает тонкий переходный слой, содержащий боль­шое число дефектов типа кислородных вакансий (недоста­ток одного атома кислорода в молекуле SiO₂), в котором образуется положительный заряд ионов Si+.

Это приводит к тому, что для кремния, покрытого оксидом SiO₂, помимо заряда ловушек существует постоянный поверхностный заряд.

Эффект поля

Эффектом поля называется изменение к онцентрации свободных носителей в приповерхностном слое полупроводника (и, следовательно, его удельного сопротивления) под действием внешнего электрического поля, направленного нормально к поверхности.

В зависимости от направления по­ля и его напряженности различают три режима приповерхностного слоя:

- обеднения;

- инверсии;

- обогащения.

Рассмот­рим эффект поля на примере полупроводника р-типа с по­стоянной концентрацией акцепторов.

На рис. 10.1а. – 10.1в. показаны напряженность поля и концентрация носителей заряда в приповерхностном слое.

Рис. 10.1 Концентрация носителей заряда в приповерхностном слое.

Предположим, что поверхностный заряд равен нулю.

Если полупроводник поместить во внешнее электрическое поле, то оно вызовет смещение свободных носителей в приповерх­ностном слое.

Появится нескомпенсированный объ­емный заряд, экранирующий остальную часть полупроводника от внешнего поля.

В стационарном режиме ток через полупроводник не течет, так как отсутствует замкнутая проводящая электрическая цепь.

Режим обеднения поясняет рис.10.1а.

Под действием по­ля, направление которого показано на рис, дырки (основные носители) смещаются от поверхности вглубь полупроводника, так что их концентрация у поверхности уменьшается.

Концентрация электронов у поверхности возрастает за счет их дрейфа к поверхности под действием электричес­кого поля.

Электроны (неосновные носи­тели) притягиваются к поверхности, но их концентрация здесь остается очень малой.

Поэтому у поверхности образу­ется обедненный слой толщиной L_o6.

Режим обеднения наблюдается при небольшой напряжен­ности внешнего поля, когда n _пов<N_a,

Распределения концентра­ций электронов и дырок показаны на рис. 10.1а.

Режим инверсии (рис10.1б)

При большой напряженности внешнего электрического поля наблюдается режим инверсии.

Режим инверсии такое состояние приповерхностного слоя полу­проводника, в котором поверхностная концентрация элек­тронов (неосновных носителей) превышает концентрацию акцепторов.

Тонкий хорошо проводящий слой n -типа (рис.10.1б) с высокой концентрацией электронов называют инверсным, так какего тип проводимости противоположен типу проводимости подложки.

Распределения концентра­ций электронов и дырок показаны на рис. 10.1б.

Возникший проводящий слой n -типа экранирует полупроводник от внешнего поля.

Режим обогащения (рис10.1в)

При изменении направления внешнего электрического поля возникает режим обогащения, так как дырки притя­гиваются к поверхности и образуют обогащенный слой,где их концентрация выше концентрации акцепторов.

Обога­щенный слой характеризуется повышенной проводимостью, он также экранирует полупроводник от внешнего поля.