В основе количественного РФСА лежит зависимость интенсивности аналитической линии от концентрации определяемого элемента в пробе.
Под интенсивностью спектральной линии понимают энергию N-ого числа фотонов определенной частоты, которые в единицу времени испускаются образцом, расположенным перпендикулярно к направлению падения первичных рентгеновских лучей.
(14)
I - интенсивность спектральной линии;
N -число рентгеновских фотонов (одной длины волны), которые в одну секунду испускаются образцом в направлении детектора;
hn -энергия каждого фотона.
Рентгено-флуоресцентные спектры получают действием первичного рентгеновского излучения, идущего от рентгеновской трубки. Поэтому интенсивность линий в рентгено-флуоресцентном спектре пробы зависит от интенсивности первичного рентгеновского излучения.
Под интенсивностью первичного рентгеновского излучения в РФСА понимают энергию излучения, падающего в одну секунду на единицу поверхности образца, расположенного перпендикулярно к направлению падения излучения.
Следует различать интегральную и спектральную интенсивность. Под интегральной интенсивностью понимают интенсивность рентгеновского излучения, не разложенного по длинам волн. Именно в таком виде излучение выходит из рентгеновской трубки и попадает на пробу. Это излучение представляет собой сумму непрерывного (тормозного) излучения и характеристического спектра материала анода рентгеновской трубки.