2015-05-13
266
Измерить сопротивление данного набора тонкопленочных образцов.
Толщина пленок меняется от образца к образцу в пределах 5÷1000 нм. Напыленные пленки, как правило, содержат большое количество структурных дефектов и являются напряженными. Для снижения влияния структурных несовершенств можно провести отжиг при температуре ~ 600К в течении 1,5 часов в вакууме.
В силу известной неопределенности в измерении малых толщин в технологии тонких пленок используется понятие поверхностного сопротивления 
, которым называют сопротивление квадратного участка пленки (с одинаковыми длиной и шириной). Для квадратного участка любой площади сопротивление одно и тоже.
Измерение удельного поверхностного сопротивления пленок осуществляется следующим образом:
а) измеряется длина (L) и ширина (b) пленочных элементов;
б) из отношения L/b определяется число квадратов со стороной b;
в) с помощью двухзондового устройства измеряется сопротивление каждого элемента;
г) вычисляя отношение измеренного сопротивления к числу квадратов, определяется величина удельного поверхностного сопротивления , Ом/ࡪ;
д) умножив величину на толщину пленки h, получают удельное сопротивление пленки ρ:
