Использование корпускулярных свойств частиц в устройствах получения первичной измерительной информации

Корпускулярные свойства частиц: электронов, ионов, нейтронов реализуются в электронографии, оже-спектроскопии, нейтронографии.

Электронная и ионная оптика занимаются вопросами формирования, фокусировки и отклонения пучков электронов и ионов и получения с их помощью изображений под воздействием электрических и магнитных полей в вакууме. Электронные и ионные изображения можно визуализировать на люминесцентном экране или фотослое. Т. к. электронные пучки используют гораздо шире, чем ионные, весьма распространён термин «электронная оптика» (ЭО).

Атомы рассеивают быстрые электроны примерно на 6 порядков сильнее, чем рентгеновское излучение. Это обусловлено зарядом электронов, взаимодействующим с кулоновским полем атомов. Благодаря эффективности кулоновского рассеяния электронов в электронографии используются плёнки материала толщиной всего . При достаточно длительном наблюдении возникает упорядоченная дифракционная картина распределения электронной плотности за образцом, зависящая от структуры кристаллической решётки.