Тонкопленочные магниторезисторы серии Micromag

Фирма Space Electronics (США) разработала интегральный магнитный датчик типа MMS101 (Micromag), предназначенный для использования в высокочувствительных магнитометрах и навигационных приборах.
Устройство этого датчика показано на рис.а, а на рис. б приведена его электрическая схема.

В качестве магниточувствительного элемента датчика типа MMS101 использован тонкопленочный магниторезистор.
Для повышения координатной чувствительности прибора МЧЭ снабжен двумя миниатюрными концентраторами магнитного поля, состоящими из двух пермаллоевых полосок.
В непосредственной близости от МЧЭ размещается миниатюрный терморезистор, имеющий ТКС, обратный по знаку температурному коэффициенту МЧЭ.
Магниточувствительный элемент вместе с концентратором и терморезистором размещаются внутри микроминиатюрной катушки, обеспечивающей компенсацию «паразитного» магнитного поля.
Порог чувствительности магниторезисторов серии MMS101 составляет 0,135 нТл при отношении сигнал/шум равном 1.

Напряжение питания датчика- 1-2,5 В при токе потребления не более 8 мА.

Рисунок 16 Устройство датчика типа MMS101.

Рисунок 17 Устройство датчика типа MMS101.

Рисунок 18 Электрическая схема прибора типа MMS101 (Micromag).

Датчик размещается в пластмассовом корпусе тигл DIP-14 габаритами 7,8x21,1x4,3 мм.
Диапазон рабочих температур для датчика находится в пределах от-25 до+100 °С.