Процессы в области экстракции и первичного формирования потоков заряженных частиц в системах с

Плазменными эмиттерами

Процессы, имеющие место при формировании потоков заряженных частиц в плазменных эмиссионных системах, определяются следующими особенностями:

- на границе плазма – слой практически отсутствует потенциальный барьер, поэтому плотность эмиссионного тока извлекаемых из плазмы заряженных частиц есть плотность тока насыщения;

- согласование эмиссионной способности плазменного эмиттера и первеанса ускоряющего промежутка обеспечивается соответствующим перемещением границы плазмы по отношению к экстрактору;

- в области первичного формирования пучка заряженных частиц всегда имеется достаточно большая концентрация нейтралов, которые оказывают существенное влияние на процессы в ускоряющем промежутке (искажают распределение потенциала в промежутке, влияют на его электрическую прочность и т.п.);

- в случае применения одноапертурной системы формирования ионного пучка, максимальный ток в пучке будет зависеть от напряжения экстракции и массы извлекаемых ионов.

Остановимся на рассмотрении некоторых из указанных особенностей.