Робота в режимі вторинної емісії

ПОРЯДОК ВИКОНАННЯ РОБОТЫ НА РАСТРОВОМУ ЕЛЕКТРОННОМУ МІКРОСКОПІ (РЕМ) HITACHI S-806

Ввімкнення

· Перед початком роботи переконайтесь про світіння індикаторних лампочок IP1, IP2, IP3 на панелі контролю вакуума.

· Світіння лампочок сигналізує про наявність вакууму:

· IP1 вакуум ≥ 1,5 10^-7 мм.рт.ст.

· IP2 вакуум ≥ 2 10^-6 мм.рт.ст.Па

· IP3 вакуум ≥.7 10^-5 мм.рт.ст.

· Переконайтесь, що клавіша EVAC знаходиться в нижньому положенні, а ключ SC / SEC встановлений в положення SEC.

· ввімкніть живлення тумблером EVAC POWER

· ввімкніть акумулятор

· на панелі TMP CONTROL ввімкніть тумблер POWER, а потім MOTOR.

· зачекайте 15 хвилин поки ТМП вийде на штатний режим роботи.

· переконайтеся, що сигнальні лампи DP/TMP і AIR PRESS світяться.

· зачекайте приблизно 15 – 20 хвилин до завершення відкачки основної камери і впевніться, що індикаторна лампа S.C.VACUUM HIGH світиться.

· ввімкніть ключ DISPLAY POWER.

Заміна зразка і шлюзування

· - ввімкніть блок живлення столика.

· ввімкніть блок живлення столика за допомогою пульта управління столиком встановіть його в позицію зміни зразка (команда 01)

· переконайтеся, що ключ S.C. AIR LOCK VALVE встановлений на CLOSE, ключ SC / S.E.C. встановлений в положення S.E.C. і лампа S.E.C. VACUUM HIGH світиться.

· Відкрийте клапан між основною камерою і шлюзом, встановивши ключ SECVALVE в положення OPEN.

· Введіть стрижень шлюзу до зіткнення з носієм зразка і вверніть його (за годинниковою стрілкою) в різьбовий отвір носія. Після цього витягніть стрижень до його фіксації. Носій зразка можна спостерігати у вікно шлюзу.

· закрийте клапан, встановивши ключ SECVALVE в положення CLOSE

· переконавшись, що ключ S.C. / S.E.C. встановлений в положення SEC, натисніть клавішу AIR

· Після натікання повітря в шлюз зразок можна витягти і встановити інший об'єкт дослідження.

· Після установки нового зразка закрийте шлюз (введіть утримувач зразка в шлюз).

· Натисніть клавішу EVAC. По завершенні відкачування шлюзу включиться лампа SECVACUUM HIGH.

· Відкрийте клапан шлюзу, встановивши ключ SECVALVE в положення OPEN.

· Встановіть носій із зразком на столик, всуваючи стрижень шлюзу до упору.

· Вигвинтіть стрижень з носія і витягнути його до фіксації.

· Закрийте клапан шлюзу, встановивши SECVALVE в положення CLOSE.

· На пульті управління столиком набрати потрібні координати і перемістити зразок під електронний зонд.

Робота в режимі вторинної емісії

· Включити ключ DISPLAY POWER. Через 10 - 15 секунд на екрані монітора з'явиться лінія сканування. Якщо лінія сканування не спостерігається, ручкою BRIGHTNESS збільшити яскравість

· Початкове умова: ключі S.E. / R.E. і IMAGE SIGNAL SELECTOR встановлені в положення SE.

· Ключем WD встановити робоча відстань 30 мм

· Клавішею MAGNIFICATION встановити мінімальне збільшення.

· Переконавшись, що зелена лампа SCVACUUM HIGH світиться, перемкнути тумблер SC AIR LOCK VALVE в положення OPEN. При цьому включиться зелена лампа клавіші READY OFF, підтверджуючи стан готовності.

· Включити високу напругу клавішею HV ON і вичекати встановлення тягнучої і прискорюючої напруг, струму катода (їх значення висвічуються на дисплеї).

· Ручками BRIGHTNESS і CONTRAST встановити кольорові смуги яскравості і контрасту на середині шкали.

· Клавішею MAGNIFICATION встановити мінімальне збільшення.

· Сфокусувати зображення зразка ручкою FOCUS COARSE

o Вибрати на поверхні зразка місце аналізу і підвести його в центр екрану.

· Клавішею MAGNIFICATION встановити потрібне збільшення

· Ручками FOCUS, STIGMATOR, BRIGHTNESS, CONTRAST домогтися якісного зображення поверхні вибраної ділянки.

· Зберегти зображення на комп'ютері. Виміряти задані розміри елементів зображення на екрані монітора.