На даний момент розроблені три модифікації мікроскопа Certus NSOM.
Модифікація Certus NSOM S на базі скануючого зондового мікроскопа Certus Standard. До складу Certus NSOM S входять:
· Скануюча голівка Certus з тримачем зондів для АСМ;
· спеціалізований утримувач зондів для мікроскопії ближнього поля;
· відеомікроскоп;
· оптичний блок;
· інтегрований рухливий столик для зразка;
· єдиний СЗМ контролер EG-300;
· програмне забезпечення NSpec (рис. 3.6) [11].
NSpec - універсальна програма для управління приладами компанії NST. Програма працює у зв'язці з контролером EG-3000, і керує всіма пристроями, підключеними до контролера (СЗМ Certus, скануючий столик Ratis, крокові мотори і т.п.). Крім того, програма може працювати з CCD-камерами та спектрометрами, підключеними безпосередньо до персонального комп'ютера. В основі програми лежить багатопотокове ядро, написане на мові C++, і зібране компілятором GCC4. Інтерфейс програми створений з використанням кроссплатформенної бібліотеки QT4, а так само модифікованої версії бібліотеки QWT.
|
|
Програма сумісна з усіма актуальними версіями ОС Windows (XP, 2003, Vista, 7). На вимогу замовника можливе портування програми на ОС Linux, *BSD, MacOS.
Мінімальні системні вимоги:
· Windows XP;
· 256 Mb RAM;
· відеокарта з підтримкою OpenGL;
· 50 Mb вільного місця на диску.
Рекомендовані системні вимоги:
· Windows Vista або Windows 7;
· 512 Mb RAM;
· відеокарта NVidia [13].
Рисунок 3.6 – Знімок екрану програми NSpec в опціях перегляду, збереження і завантаження даних [13]
Модифікація Certus NSOM O на базі комплексу Certus Optic. До складу Certus NSOM O входять:
· скануюча голівка Certus з тримачем зондів для АСМ;
· спеціалізований утримувач зондів для мікроскопії ближнього поля;
· пристрій позиціонування і сканування Ratis;
· класичний оптичний мікроскоп (прямий або інвертований);
· Z - подвижка для об'єктива;
· оптичний блок;
· пристрій позиціонування зразка;
· єдиний СЗМ контролер EG-3000;
· програмне забезпечення NSpec.
Комплекс Certus NSOM O дозволяє використовувати методики ближньопільної оптичної мікроскопії засновані як на відбитті світла від поверхні, так і на проходженні випромінювання через зразок. Реалізовані два режими сканування. Сканування зондом по XYZ скануючої головкою Certus і сканування зразком по XY скануючим підставою Ratis і детектуванням сигналу по Z з використанням СЗМ головки. Крім того, даний комплекс працює в режимі лазерного конфокального мікроскопа при скануванні по XY зразком.
На рисунку 3.7 показано отримані результати комплексом Certus NSOM O, зображення розмір 50х15 μм, 256х77.
а) б)
в)
Рисунок 3.7 – Ближньопільне оптичне зображення (а) тестової решітки V, її топографія АСМ (б) та 3D топографія АСМ (в) [11]
|
|
Модифікація Certus NSOM для комплексів Centaur (HR).
Так само, на базі СЗМ головки Certus NSOM для комплексів Centaur (HR) в якості додаткової опції реалізовані методики ближньопільної оптичної мікроскопії з використанням апертури. Безапертурні методики реалізовані в цих комплексах за замовчуванням [11].