Работа посвящена развитию высокоэффективных технологий прецизионного раскроя хрупких неметаллических материалов на основе метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ), который получает в последнее время все большее распространение и признание во всем мире. Приведены некоторые примеры решения высокотехнологичных задач с использованием метода ЛУТ.
Ключевые слова: лазерное управляемое термораскалывание, сапфир, стекло, кремний
V.S. KONDRATENKO
Grand PhD in economics sciences, professor, head of Department
of optical and biotechnical systems and technologies
of Physico-technological institute
of Moscow technological university, Moscow, Russia
A.Yu. ROGOV
deputy director of Physico-technological institute
of Moscow technological university, Moscow, Russia